[發(fā)明專利]在線式激光調(diào)阻機及調(diào)阻方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911295438.6
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN111091942B
• 公開（公告）日: 2021-06-15
• 發(fā)明（設計）人: 李艷紅
• 申請（專利權(quán)）人: 武漢馳電科技有限公司
• 主分類號: H01C17/242
• 分類號: H01C17/242
• 代理公司: 武漢紅觀專利代理事務所(普通合伙) 42247
• 代理人: 張杰

1.一種在線式激光調(diào)阻機，其包括激光器(1)、電阻檢測設備(2)和處理器(3)，其特征在于：還包括工件固定組件(4)、繼電器(5)和進氣組件(6)，所述工件固定組件(4)包括工作臺(41)、直線模組(42)和三根探針(43)，其中，

工作臺(41)，中間設置有穿孔(4110)，機械式壓力傳感器殼體(K)嵌入穿孔(4110)內(nèi)并與工作臺(41)電性連接；

進氣組件(6)，選擇性連通機械式壓力傳感器殼體(K)上的進氣孔，并向進氣孔內(nèi)增加或者降低氣壓；

三根探針(43)，分別標記為1#探針(43)、2#探針(43)和3#探針(43)；

直線模組(42)，驅(qū)動三根探針(43)上升或者下降，當三根探針(43)下降到底部時，1#探針(43)與工作臺(41)電性連接，2#探針(43)與機械式壓力傳感器厚膜電阻片(S)上的末位金屬線(S2)電性連接，3#探針(43)與 機械式壓力傳感器厚膜電阻片(S)上的零位金屬線(S2)電性連接；

電阻檢測設備(2)，與1#探針(43)電性連接，與2#探針(43)和3#探針(43)分別通過繼電器(5)電性連接，檢測1#探針(43)與2#探針(43)或3#探針(43)之間的實時電阻值并發(fā)送給處理器(3)；

處理器(3)，分別與繼電器(5)、進氣組件(6)和激光器(1)信號連接，控制進氣組件(6)向進氣孔內(nèi)增加或者降低氣壓，控制激光器(1)運動并發(fā)射或者停止發(fā)射激光束；

激光器(1)，發(fā)射激光束，對厚膜電阻片(S)上的厚膜電阻層(S3)進行燒蝕；

所述當三根探針(43)下降到底部時，電阻檢測設備(2)通過繼電器(5)與1#探針(43)和機械式壓力傳感器上的彈性觸片(T)電性連接，電阻檢測設備(2)與3#探針(43)電性連接，繼電器(5)與2#探針(43)斷開電性連接；處理器(3)控制進氣組件(6)向進氣孔內(nèi)增加氣壓，直至彈性觸片(T)與厚膜電阻片(S)上的末位金屬線(S2)接觸后，再控制進氣組件(6)泄壓，直至彈性觸片(T)與厚膜電阻片(S)上的零位金屬線(S2)接觸；然后控制繼電器(5)切換至與3#探針(43)斷開電性連接，與2#探針(43)電性連接。

2.如權(quán)利要求1所述的在線式激光調(diào)阻機，其特征在于：所述工作臺(41)包括工件定位臺(411)、滑板(412)、導向桿(413)、底板(414)和第一氣缸(415)，工件定位臺(411)中間設置有穿孔(4110)且底部與滑板(412)固定，導向桿(413)兩端分別連接底板(414)，第一氣缸(415)分別連接導向桿(413)與滑板(412)，所述工件定位臺(411)上并排設置有兩個以上的穿孔(4110)。

3.如權(quán)利要求2所述的在線式激光調(diào)阻機，其特征在于：所述工件固定組件(4)還包括U形金屬彈片(416)，U形金屬彈片(416)卡在穿孔(4110)內(nèi)壁和工件定位臺(411)外壁上，并與機械式壓力傳感器殼體(K)接觸。

4.如權(quán)利要求2所述的在線式激光調(diào)阻機，其特征在于：進氣組件(6)包括第三氣缸(61)、進氣頂桿(62)和電磁閥(63)，第三氣缸(61)固定在底板(414)上并連接進氣頂桿(62)，進氣頂桿(62)上開設有氣流通道并選擇性與進氣孔連通或者斷開，外部氣體加壓裝置通過電磁閥(63)與進氣頂桿(62)連通，電磁閥(63)與處理器(3)信號連接。

5.如權(quán)利要求2所述的在線式激光調(diào)阻機，其特征在于：所述工件固定組件(4)還包括底座(417)、滑軌(418)和絲桿電機(419)，滑軌(418)固定在底座(417)上并與底板(414)滑動連接，絲桿電機(419)分別連接底座(417)和底板(414)。

6.如權(quán)利要求2所述的在線式激光調(diào)阻機，其特征在于：所述工件固定組件(4)還包括限位板(410)，與底板(414)固定，且在正對穿孔(4110)處設置有與機械式壓力傳感器支架(Z)形狀相適應的限位槽(4100)。