[發明專利]紅外玻璃及其制備方法

有效

• 申請號: 201911295138.8
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN110818276B
• 公開（公告）日: 2022-04-05
• 發明（設計）人: 莊迪斯;陳一誠
• 申請（專利權）人: 豪威光電子科技（上海）有限公司
• 主分類號: C03C17/00
• 分類號: C03C17/00;C03C17/32;C03C17/34;G02B5/20
• 代理公司: 上海思微知識產權代理事務所(普通合伙) 31237
• 代理人: 曹廷廷

本發明提供了一種紅外玻璃及其制備方法，所述紅外玻璃包括：基板，所述基板具有相對的第一表面和第二表面；所述第一表面上形成有濾光光阻層，所述第二表面上形成有鍍膜層。本發明基板的一面使用蒸鍍工藝形成鍍膜層，另一面涂覆光刻膠的方法形成濾光光阻層，獲得需要的濾光波段。由于濾光光阻層應力非常小，翹曲變形會變小，降低紅外玻璃的翹曲度，提高厚度一致性；可以使紅外玻璃適應更多后續工藝。而且通過光刻工藝形成濾光光阻層，可以很容易獲得所需圖形，提高了工藝靈活性。降低了成本，減少了一次鍍膜工藝。

技術領域

本發明涉及玻璃加工領域，具體涉及一種紅外玻璃及其制備方法。

背景技術

紅外玻璃是指能夠透過紅外波段電磁輻射的光學玻璃，可作為視窗、透鏡等在紅外探測和紅外成像技術中廣泛應用。紅外玻璃不僅具有較好的紅外透過性能、優良的光學均勻性、較高的機械強度，而且制造成本低廉、光學加工工藝簡單、可加工成復雜異形制品而備受關注。

傳統的紅外透過(IRPF)濾光玻璃片通過在基板正反兩面上使用磁控濺射(PVD)沉積濾光膜制作獲得。磁控濺射鍍膜成本高，并且需要特別的工藝才能制作各種圖形及對位圖形。基板上雙面(正反兩面)鍍膜形成的紅外玻璃片翹曲度大，影響后續工藝。

發明內容

本發明的目的在于提供一種紅外玻璃及其制備方法，降低紅外玻璃的翹曲度，提高厚度一致性；降低制作圖形的工藝難度，提高工藝靈活性。

本發明提供一種紅外玻璃，包括：

基板，所述基板具有相對的第一表面和第二表面；

所述第一表面上形成有濾光光阻層，

所述第二表面上形成有鍍膜層。

進一步的，所述濾光光阻層過濾300nm～800nm波段的光線，且穿透波長大于800nm的光線。

進一步的，所述濾光光阻層為整層濾光光阻層或圖形化的濾光光阻層。

進一步的，所述紅外玻璃的紅外線穿透率大于等于89％，所述紅外玻璃穿透800nm～1100nm波段的光線。

進一步的，所述鍍膜層包括至少一個層疊單元，所述層疊單元包括堆疊設置的氧化硅層和氧化鈦層。

本發明還提供一種紅外玻璃的制備方法，包括：

提供基板，所述基板具有相對的第一表面和第二表面；

在所述第一表面上形成濾光光阻層，

在所述第二表面上形成鍍膜層。

進一步的，在所述第一表面上形成濾光光阻層包括：

在所述第一表面上涂布濾光光阻層；

固化所述濾光光阻層。

進一步的，在所述第一表面上形成濾光光阻層包括：

在所述第一表面上涂布濾光光阻層；

對所述濾光光阻層進行曝光和顯影，獲得圖形化的濾光光阻層；

固化所述圖形化的濾光光阻層。

進一步的，所述鍍膜層采用蒸鍍的方法形成，所述鍍膜層包括至少一個層疊單元，所述層疊單元包括堆疊設置的氧化硅層和氧化鈦層。

進一步的，通過控制所述層疊單元的個數、所述氧化硅層的厚度和所述氧化鈦層的厚度來調節所述紅外玻璃穿透的波段。

與現有技術相比，本發明具有如下有益效果：