[發明專利]一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法及裝置有效
| 申請號: | 201911294000.6 | 申請日: | 2019-12-16 |
| 公開(公告)號: | CN110937606B | 公開(公告)日: | 2020-10-16 |
| 發明(設計)人: | 楊明財;任長春;郭梅珍;史正斌;曹玲玲;丁小海;鮑守珍;蔡延國;宗冰 | 申請(專利權)人: | 亞洲硅業(青海)股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司 |
| 主分類號: | C01B33/035 | 分類號: | C01B33/035 |
| 代理公司: | 成都華風專利事務所(普通合伙) 51223 | 代理人: | 徐豐 |
| 地址: | 810007 青海*** | 國省代碼: | 青海;63 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 還原 爐硅芯 橫梁 安裝 方法 裝置 | ||
本發明公開了一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法及裝置,涉及多晶硅生產技術領域,主要用于解決人工安裝硅芯、硅芯橫梁,硅芯垂直度難以保證,且易引入雜質,影響多晶硅品質的問題。其通過如下步驟實現:準備硅芯;輸送硅芯:安裝石墨底座;90°翻轉硅芯:組裝硅芯和電極盤:裝入還原爐。裝置的結構為:工作臺上設有硅芯輸送帶;硅芯輸送帶進料端設有硅芯存儲箱,硅芯輸送帶中部兩側設有石墨座安裝器和硅芯頂塊,硅芯輸送帶的出料端依次設有翻轉機械臂、成品架、夾持機構以及電極盤。本發明提供的一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法及裝置,其能自動組裝硅芯、硅芯橫梁以及電極盤,保證硅芯垂直度的同時還能減少引入雜質。
技術領域
本發明涉及多晶硅生產技術領域,尤其涉及一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法及裝置。
背景技術
硅芯是多晶硅生產過程中生長多晶硅的載體。將其放置在還原爐中,通過還原爐的反應,可以在硅芯表面“生長”出多晶硅。一般來說,還原爐內會放置多組硅芯。每組硅芯包括兩根與底盤垂直的硅芯和一根與底盤平行的硅芯橫梁,三根硅芯組成“П”型,可構成單獨的電流回路。
傳統的還原爐硅芯安裝通常是利用安裝人員站在還原爐底盤上,一人拿著硅芯,一人在還原爐底盤上進行裝配,將硅芯垂直插入還原爐底盤上的石墨件的夾頭。并由爐外人員目測指揮調整硅芯與還原爐底盤的垂直度,待硅芯的垂直度調整好之后,由站在還原爐底盤上的安裝人員擰緊石墨件的夾頭,從而將硅芯豎直安裝在還原爐底盤上。之后,再將另外一根硅芯按照同樣的方法豎直安裝在還原爐底盤上,最后將第三根硅芯橫梁橫向安裝于兩根豎直硅芯的頂端,從而完成一組硅芯的安裝。
然而,現有的硅芯安裝過程中,由于人為因素多的緣故,硅芯垂直度難以保證,易引入雜質,影響多晶硅產品品質,進而導致多晶硅的生產效率低下,無法滿足現有的生產需求。
因此,目前需要一種能夠解決上述缺陷的還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法及裝置。
發明內容
本發明的目的是提供一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法,其能自動組裝硅芯、硅芯橫梁以及電極盤,保證硅芯垂直度的同時還能減少引入雜質,進而保證多晶硅產品的品質。
本發明要解決的另一技術問題是提供一種結構巧妙、能夠實現上述方法的還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝裝置。
本發明解決前一技術問題的技術方案是:一種還原爐硅芯、硅芯橫梁安裝方法,其特征在于,通過如下步驟實現:
一、準備硅芯:
啟動工作臺,按照設計要求調整好硅芯底端與頂端方向后,將多根硅芯放置于硅芯存儲箱中;
二、輸送硅芯:
硅芯從硅芯存儲箱上的出芯口依次滾出,落入到硅芯輸送帶上,并通過硅芯輸送帶運輸移動;
三、安裝石墨底座;
當硅芯被運送至石墨座安裝器位置時,硅芯輸送帶停頓,硅芯頂塊頂住硅芯頂端,并向相對位置的石墨座安裝器推動硅芯,使硅芯底端進入石墨底座,石墨底座鎖緊裝在硅芯上,緊固操作完成后,硅芯頂塊復位,硅芯輸送帶繼續運輸硅芯;
四、90°翻轉硅芯:
通過翻轉機械臂將裝好石墨底座的硅芯豎直放置在成品架上;
五、組裝硅芯和電極盤:
利用夾持機構將硅芯的底端豎直插裝在電極盤上,并將硅芯橫梁搭接在硅芯上端;
六、將組裝好的硅芯、硅芯橫梁以及電極盤整體裝入還原爐中。
作為本發明的更進一步改進,步驟一中:將硅芯沿與輸送方向垂直的方向放置,且硅芯的頂端正對硅芯頂塊一側,硅芯的底端正對石墨底座一側。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于亞洲硅業(青海)股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司,未經亞洲硅業(青海)股份有限公司;青海省亞硅硅材料工程技術有限公司許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/201911294000.6/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:高速高產道夫金屬針布
- 下一篇:走線固定件和空調器





