[發明專利]可激光動態補償的掃描式激光系統及其激光動態補償方法

在審

• 申請號: 201911292290.0
• 申請日: 2019-12-16
• 公開（公告）號: CN112825405A
• 公開（公告）日: 2021-05-21
• 發明（設計）人: 林盈佐;楊映暉;李姿儀;陳智禮
• 申請（專利權）人: 財團法人工業技術研究院
• 主分類號: H01S3/00
• 分類號: H01S3/00
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務所 11105
• 代理人: 徐協成

1.一種具有激光動態補償功能的掃描式激光系統，包括：

激光源裝置，連續地產生可控式的激光光束；

振鏡掃描裝置，包括一或多個振鏡，該一或多個振鏡根據一或多個驅動電壓而運作，該振鏡掃描裝置控制該激光光束聚焦形成激光光點在焦平面以進行掃描加工；

驅動電壓處理裝置，連接該振鏡掃描裝置，該驅動電壓處理裝置依據該一或多個驅動電壓取得該激光光點的移動速度信息，該驅動電壓處理裝置還依據該激光光點的移動速度信息產生觸發參數以決定是否輸出觸發信號；以及

電流比例控制器，連接該激光源裝置及該驅動電壓處理裝置，以輸出泵浦驅動電流至該激光源裝置，該電流比例控制器在接收到該觸發信號時依據該激光光點的移動速度信息調整該泵浦驅動電流，以調制該激光光束的功率。

2.如權利要求1所述的掃描式激光系統，其中該驅動電壓處理裝置包括：

電壓傳感器，連接該振鏡掃描裝置，該電壓傳感器用以檢測輸入該振鏡掃描裝置的該一或多個驅動電壓，并產生一或多個輸出電壓信號，該一或多個輸出電壓信號正比于該一或多個驅動電壓；以及

速度運算裝置，連接該電壓傳感器，該速度運算裝置依據該一或多個輸出電壓信號產生該一或多個輸出電壓信號的時變量，據以取得該激光光點的移動速度信息。

3.如權利要求2所述的掃描式激光系統，其中該速度運算裝置包括：

速度運算器，連接該電流比例控制器與該電壓傳感器，該速度運算器用以對該一或多個輸出電壓信號執行第一微分運算而計算出該一或多個輸出電壓信號的時變量，以取得該激光光點的移動速度信息。

4.如權利要求2所述的掃描式激光系統，其中該速度運算裝置還根據該激光光點的移動速度信息產生加速度信息作為該觸發參數，以決定是否輸出該觸發信號。

5.如權利要求4所述的掃描式激光系統，其中該速度運算裝置包括：

加速度運算器，連接該電流比例控制器，該加速度運算器用以對該激光光點的移動速度信息執行第二微分運算而計算出該加速度信息。

6.如權利要求4所述的掃描式激光系統，其中該加速度信息指示加速度值為非零，該速度運算裝置決定輸出該觸發信號，且該電流比例控制器使用該激光光點的移動速度信息調整該泵浦驅動電流。

7.如權利要求1所述的掃描式激光系統，其中該電流比例控制器依據該激光光點的移動速度信息及設定移動速度信息計算比例參數，并且根據該比例參數調整該泵浦驅動電流，其中該比例參數為該激光光點的移動速度信息的測量信號值與該設定移動速度信息的設定信號值的比值。

8.如權利要求4所述的掃描式激光系統，其中該加速度信息指示加速度值為零，該速度運算裝置決定不輸出該觸發信號，且該電流比例控制器不調整該泵浦驅動電流。

9.一種掃描式激光動態補償方法，包括：

以激光源裝置連續地產生可控式的激光光束；

以振鏡掃描裝置的一或多個振鏡接收一或多個驅動電壓，以控制該激光光束聚焦在焦平面的激光光點進行掃描加工；

以驅動電壓處理裝置依據該一或多個驅動電壓取得該激光光點的移動速度信息；

以該驅動電壓處理裝置依據該激光光點的移動速度信息產生觸發參數；

以該驅動電壓處理裝置依據該觸發參數決定是否輸出觸發信號；以及

以該電流比例控制器輸出泵浦驅動電流到該激光源裝置，并且在該電流比例控制器接收到該觸發信號時使用該激光光點的移動速度信息調整該泵浦驅動電流，以調制該激光光束的功率。