[發(fā)明專(zhuān)利]用于雙片微通道板疊加測(cè)試的裝置和方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911292186.1
• 申請(qǐng)日: 2019-12-16
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111090028B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-02-15
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 張正君;喬芳建;叢曉慶;李婧雯;孫建寧;趙慧民;毛漢祺;邱祥彪;王興超;宋淳
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 北方夜視技術(shù)股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G01R31/25
• 分類(lèi)號(hào): G01R31/25;H01J43/24
• 代理公司: 南京行高知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 32404
• 代理人: 王培松

本申請(qǐng)公開(kāi)了一種用于雙片微通道板疊加測(cè)試的裝置和方法，測(cè)試裝置包括真空泵組、電子/離子源、雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼和信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)。本發(fā)明可對(duì)雙片疊加結(jié)構(gòu)的微通道板進(jìn)行測(cè)試，控制兩片微通道板之間的距離，實(shí)現(xiàn)兩片微通道板分別進(jìn)行電壓調(diào)控，微通道板安裝和取出均比較便捷并且可以減少在測(cè)試過(guò)程中對(duì)微通道板的損傷，可以簡(jiǎn)便的轉(zhuǎn)換兩片微通道板的相對(duì)位置，無(wú)需重新安裝微通道板。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及微通道板技術(shù)領(lǐng)域，具體而言涉及一種用于雙片微通道板疊加測(cè)試的裝置和方法。

背景技術(shù)

微通道板是實(shí)現(xiàn)微光夜視技術(shù)的關(guān)鍵元件，它是由許多通道電子倍增器組成的結(jié)構(gòu)緊湊的兩維列陣，具有薄片式蜂窩狀結(jié)構(gòu)，中空玻璃纖維的內(nèi)表面具有電阻性的二次電子發(fā)射層，可將電子進(jìn)行成千上萬(wàn)倍的倍增，該層與微通道板的輸入輸出電極相連，這種中空玻璃稱(chēng)為微通道，其通道直徑一般為為5μm～12μm。微通道板的增益是指微通道板輸出電流與輸入電流的比值，不同的應(yīng)用場(chǎng)景對(duì)微通道板的增益有不同的要求。大多數(shù)情況下，一片微通道板的增益可以滿(mǎn)足微光夜視儀等光電產(chǎn)品的要求。但是在某些特殊的使用要求下，單片微通道板的增益無(wú)法滿(mǎn)足探測(cè)需求，此時(shí)往往采用雙片微通道板疊加使用的方式解決該問(wèn)題。在雙片微通道板疊加使用的要求下，如何簡(jiǎn)便、無(wú)損、精確的在進(jìn)行產(chǎn)品制作前對(duì)雙片微通道板疊加的效果進(jìn)行評(píng)估，一直是困擾微通道板測(cè)試人員的難題。

針對(duì)雙片微通道板疊加測(cè)試前的安裝過(guò)程，尤其是對(duì)于兩片微通道板需要分別加電壓的情況下，需要安裝較多的電極以及絕緣環(huán)，并且在想在測(cè)試過(guò)程中改變兩片微通道板的相互位置時(shí)，需要將所有的電極和微通道板拆除并重新安裝，測(cè)試和安裝過(guò)程復(fù)雜。針對(duì)雙片微通道板疊加在安裝、測(cè)試過(guò)程中難以避免產(chǎn)生的擦傷、放電，無(wú)法實(shí)現(xiàn)無(wú)損安裝。在雙片微通道板疊加測(cè)試過(guò)程中對(duì)兩片微通道間距等參數(shù)的控制不精確而容易產(chǎn)生誤差，導(dǎo)致結(jié)果的不精確。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明旨在解決上述問(wèn)題，提出雙片疊加的微通道板測(cè)試裝置和方法。

本發(fā)明的第一方面提出一種用于雙片微通道板疊加測(cè)試的裝置，包括真空泵組、電子/離子源、雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼以及信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)，其中：

所述的真空泵組用于為微通道的測(cè)試提供達(dá)到10^-3Pa的真空環(huán)境；

電子/離子源，用于提供入射到雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼的電子/離子；

雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼，包括呈中心對(duì)稱(chēng)式安裝的多個(gè)連接環(huán)，待測(cè)試的微通道板分別通過(guò)壓環(huán)從管殼的兩端安裝，并且由管殼提供電壓接口以及通過(guò)管殼進(jìn)行微通道板的距離和位置調(diào)節(jié)；

信號(hào)檢測(cè)系統(tǒng)，用于根據(jù)入射到管殼的電子/離子對(duì)微通道板的測(cè)試過(guò)程中相應(yīng)電流進(jìn)行測(cè)量。

優(yōu)選地，所述電子/離子源輸出的電子/離子的數(shù)量及能量可調(diào)節(jié)。

優(yōu)選地，所述雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼包括位于中心的中心陶瓷環(huán)以及從中心陶瓷環(huán)依次向兩邊安裝并且呈對(duì)稱(chēng)式布置的MCP支撐環(huán)、第一陶瓷環(huán)、壓圈固定環(huán)、第二陶瓷環(huán)、壓簧支撐環(huán)、第三陶瓷環(huán)以及外金屬環(huán)，其中，每個(gè)壓簧支撐環(huán)、壓圈固定環(huán)、MCP支撐環(huán)均設(shè)置有突出的極片，位于中心陶瓷環(huán)的每一側(cè)的壓簧支撐環(huán)與壓圈固定環(huán)的極片接合。

優(yōu)選地，所述雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼中通過(guò)調(diào)節(jié)MCP支撐環(huán)和中心陶瓷環(huán)的厚度，控制所需測(cè)試的兩片微通道板之間的距離。

優(yōu)選地，所述雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼中，所述中心陶瓷環(huán)表面鍍金屬膜層。

優(yōu)選地，所述雙片疊加的微通道板測(cè)試用管殼中調(diào)整縮小MCP支撐環(huán)的尺寸厚度使得MCP支撐環(huán)僅起到提供電壓的作用，兩片微通道板之間的距離僅受中心陶瓷環(huán)厚度的影響。

優(yōu)選地，所述兩片微通道板之間的距離最小達(dá)到0.1mm。