[發明專利]一種表面選擇性織構太陽能電池的制造方法及太陽能電池

在審

• 申請號: 201911289187.0
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN110854241A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 武祿;楊潔;張昕宇
• 申請（專利權）人: 浙江晶科能源有限公司;晶科能源有限公司
• 主分類號: H01L31/18
• 分類號: H01L31/18;H01L31/068
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 王雨

1.一種表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，包括：

在經過背表面制絨的太陽能電池前置物的織構化區域設置掩膜層；

通過選擇性拋光溶液對所述太陽能電池前置物的背表面的非織構化區域進行拋光，所述選擇性拋光溶液在所述拋光過程中不能蝕穿所述掩膜層；

通過表面清洗劑去除所述掩膜層，設置鈍化層與電極，得到具有選擇性織構化的太陽能電池。

2.如權利要求1所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述在經過背表面制絨的太陽能電池前置物的織構化區域設置掩膜層包括：

在所述太陽能電池前置物表面整面設置掩膜層；

在所述織構化區域對應的所述掩膜層上方設置有機物層；

通過腐蝕劑去除未被所述有機物層覆蓋的所述掩膜層；

通過有機物溶解液去除所述有機物層，得到在所述織構化區域設置的掩膜層。

3.如權利要求2所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述有機物層為石蠟層。

4.如權利要求1所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述在經過背表面制絨的太陽能電池前置物的織構化區域設置掩膜層包括：

在所述太陽能電池前置物表面整面設置掩膜層；

激光刻蝕所述非織構化區域，得到在所述織構化區域設置的掩膜層。

5.如權利要求1所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述在經過背表面制絨的太陽能電池前置物的織構化區域設置掩膜層包括：

通過絲網印刷或噴墨打印在所述織構化區域設置所述掩膜層。

6.如權利要求4或5所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，在所述激光刻蝕所述非織構化區域之后，還包括：

通過去氧化劑去除所述激光刻蝕產生的熱氧化層。

7.如權利要求6所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，具體為：

通過氫氧化鈉溶液或氫氧化鉀溶液去除所述激光刻蝕產生的熱氧化層及所述掩膜層，得到具有選擇性織構化的太陽能電池。

8.如權利要求1所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，所述表面清洗劑為氫氟酸。

9.如權利要求1所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法，其特征在于，當所述太陽能電池前置物為鈍化接觸電池時，所述掩膜層為二氧化硅掩膜層或碳化硅掩膜層或氮化硅掩膜層；

當所述太陽能電池前置物為非鈍化接觸電池時，所述掩膜層為磷硅玻璃或硼硅玻璃。

10.一種太陽能電池，其特征在于，所述太陽能電池為經過如權利要求1至9任一項所述的表面選擇性織構太陽能電池的制造方法得到的太陽能電池。