[發(fā)明專利]襯底處理裝置及襯底搬送方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911285908.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-13
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN111383957A
• 公開(kāi)（公告）日: 2020-07-07
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 桑原丈二
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 株式會(huì)社斯庫(kù)林集團(tuán)
• 主分類號(hào): H01L21/67
• 分類號(hào): H01L21/67;H01L21/677
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 陳甜甜

1.一種襯底處理裝置，對(duì)襯底進(jìn)行處理，且包含以下要素：

多個(gè)處理塊，配置成一列；

第1裝載塊，與所述多個(gè)處理塊的一端的處理塊連結(jié)，且設(shè)有用于載置能夠收納多個(gè)襯底的載具的第1載具載置臺(tái)；

接口塊，與所述多個(gè)處理塊的另一端的處理塊連結(jié)，針對(duì)進(jìn)行預(yù)先設(shè)定的處理的外部裝置進(jìn)行襯底的搬入及搬出；及

第2裝載塊，配置在所述多個(gè)處理塊中的2個(gè)處理塊之間，且設(shè)有用于載置所述載具的第2載具載置臺(tái)；

所述第1裝載塊從載置在所述第1載具載置臺(tái)上的所述載具取出襯底，并將所取出的襯底輸送到所述一端的處理塊，

所述多個(gè)處理塊及所述第2裝載塊將從所述第1裝載塊輸送來(lái)的襯底經(jīng)由所述第2裝載塊，從所述一端的處理塊輸送到所述接口塊，

在將襯底從所述一端的處理塊輸送到所述接口塊時(shí)，配置在所述第1裝載塊與所述第2裝載塊之間的處理塊對(duì)被輸送的襯底進(jìn)行預(yù)先設(shè)定的處理，

所述接口塊將輸送來(lái)的襯底搬出到所述外部裝置，

所述接口塊從所述外部裝置搬入由所述外部裝置進(jìn)行了預(yù)先設(shè)定的處理的襯底，并將所搬入的襯底輸送到所述另一端的處理塊，

所述多個(gè)處理塊中的配置在所述第2裝載塊與所述接口塊之間的處理塊將從所述接口塊輸送來(lái)的襯底從所述另一端的處理塊輸送到所述第2裝載塊，

在將襯底從所述另一端的處理塊輸送到所述第2裝載塊時(shí)，配置在所述第2裝載塊與所述接口塊之間的處理塊對(duì)被輸送的襯底進(jìn)行預(yù)先設(shè)定的處理，

所述第2裝載塊將輸送來(lái)的襯底移回到載置在所述第2載具載置臺(tái)上的所述載具。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的襯底處理裝置，其中

所述多個(gè)處理塊具備進(jìn)行第1處理的第1處理塊及進(jìn)行第2處理的第2處理塊，

所述第1裝載塊與所述第1處理塊連結(jié)，

所述第1處理塊與所述第2裝載塊連結(jié)，

所述第2裝載塊與所述第2處理塊連結(jié)，

所述第2處理塊與所述接口塊連結(jié)，

所述接口塊針對(duì)進(jìn)行第3處理的外部裝置進(jìn)行襯底的搬入及搬出，

所述第1裝載塊從載置在所述第1載具載置臺(tái)上的所述載具取出襯底，并將所取出的襯底輸送到所述第1處理塊，

所述第1處理塊對(duì)從所述第1裝載塊輸送來(lái)的襯底進(jìn)行所述第1處理，將進(jìn)行了所述第1處理的襯底輸送到所述第2裝載塊，

所述第2裝載塊將從所述第1處理塊輸送來(lái)的襯底輸送到所述第2處理塊，

所述第2處理塊將從所述第2裝載塊輸送來(lái)的襯底輸送到所述接口塊，

所述接口塊將從所述第2處理塊輸送來(lái)的襯底搬出到所述外部裝置，

所述接口塊從所述外部裝置搬入進(jìn)行了所述第3處理的襯底，并將所搬入的襯底輸送到所述第2處理塊，

所述第2處理塊對(duì)進(jìn)行了所述第3處理的襯底進(jìn)行所述第2處理，并將進(jìn)行了所述第2處理的襯底輸送到所述第2裝載塊，

所述第2裝載塊將進(jìn)行了所述第2處理的襯底移回到載置在所述第2載具載置臺(tái)上的所述載具。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的襯底處理裝置，其還具備載具搬送機(jī)構(gòu)，

該載具搬送機(jī)構(gòu)在所述第1載具載置臺(tái)與所述第2載具載置臺(tái)之間搬送所述載具。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的襯底處理裝置，其中

所述載具搬送機(jī)構(gòu)搭載在所述第1處理塊之上。