[發明專利]一種VCSEL測量裝置

有效

• 申請號: 201911281656.4
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN111006719B
• 公開（公告）日: 2022-03-29
• 發明（設計）人: 周漢川;肖黎明
• 申請（專利權）人: 武漢光安倫光電技術有限公司
• 主分類號: G01D21/02
• 分類號: G01D21/02
• 代理公司: 北京匯澤知識產權代理有限公司 11228
• 代理人: 吳靜

本發明涉及VCSEL參數測量技術領域，提供了一種VCSEL測量裝置，包括用于擱置芯片的測量臺，還包括架設于所述測量臺上方的支撐架、用于測量芯片的不同參數的若干參數測量組件以及用于將任一所述參數測量組件的位置調整至所述測量臺的正上方的調整機構，各所述參數測量組件均可拆卸安裝在所述調整機構上，所述調整機構安裝在所述支撐架上。本發明的通過將多個參數測量組件集成在一起，通過調整來選擇性地調整參數測量組件的位置，進而選擇性地對需要的參數進行測量，解決了現有技術中的缺陷，而且通過參數測量組件的可拆卸連接的形式，可以根據實際需要拆下當前的參數測量組件并安裝另外種類的參數測量組件，使得本測量裝置的擴展性更好且使測量更為靈活。

技術領域

本發明涉及VCSEL參數測量技術領域，具體為一種VCSEL測量裝置。

背景技術

目前，VCSEL芯片進行測量，因為垂直方向物理空間限制，通常一個裝置只能測量一個參數，需要測量多個參數時，要重新更換設備，造成設備的重復購買，進而增加了成本。

發明內容

本發明的目的在于提供一種VCSEL測量裝置，通過將多個參數測量組件集成在一起，并通過調整來選擇性地調整參數測量組件的位置，進而選擇性地對需要的參數進行測量，解決了現有技術中的缺陷，而且通過參數測量組件的可拆卸連接的形式，可以根據實際需要拆下當前的參數測量組件并安裝另外種類的參數測量組件，使得本測量裝置的擴展性更好且使測量更為靈活。

為實現上述目的，本發明實施例提供如下技術方案：一種VCSEL測量裝置，包括用于擱置芯片的測量臺，還包括架設于所述測量臺上方的支撐架、用于測量芯片的不同參數的若干參數測量組件以及用于將任一所述參數測量組件的位置調整至所述測量臺的正上方的調整機構，各所述參數測量組件均可拆卸安裝在所述調整機構上，所述調整機構安裝在所述支撐架上。

進一步，所述調整機構包括安裝在所述支撐架上的扇形轉盤以及用于驅使所述扇形轉盤旋轉的驅動件，沿所述扇形轉盤的彎曲方向各所述參數測量組件依次布設在所述扇形轉盤上。

進一步，所述扇形轉盤上設有沿所述扇形轉盤的彎曲方向布設的導軌槽，每一所述參數測量組件均包括用于測量的測量件以及設于所述導軌槽內的導軌，所述測量件安裝在所述導軌上。

進一步，所述導軌包括疊設且可互相滑動的兩層板、用于調整兩層板的相對位置的移動旋鈕以及用于鎖定兩層板的位置的固定旋鈕，所述測量件安裝在其中一層板上。

進一步，所述驅動件為步進電機，所述步進電機的旋轉軸與所述扇形轉盤的轉動軸線同軸設置。

進一步，其中一個所述參數測量組件包括積分球，所述積分球可拆卸安裝在所述調整機構上。

進一步，其中一個所述參數測量組件包括光纖以及光譜儀，所述光纖可拆卸安裝在所述調整機構上，且所述光纖的輸出端與所述光譜儀連接。

進一步，其中一個所述參數測量組件包括相機，所述相機可拆卸安裝在所述調整機構上。

進一步，還包括用于收集各所述參數測量組件測得的參數的計算機。

進一步，還包括可與所述芯片連接的探針以及與所述探針連接的源表，所述探針連接所述源表的正極，所述測量臺連接所述源表的負極。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1、通過將多個參數測量組件集成在一起，并通過調整來選擇性地調整參數測量組件的位置，進而選擇性地對需要的參數進行測量，解決了現有技術中的缺陷，而且通過參數測量組件的可拆卸連接的形式，可以根據實際需要拆下當前的參數測量組件并安裝另外種類的參數測量組件，使得本測量裝置的擴展性更好且使測量更為靈活。

2、使用計算機控制積分球、步進電機、源表和相機，在計算機上使用軟件對測量完成的數據進行分析和整理，便于科學統計。