[發明專利]三維形狀計測方法和三維形狀計測裝置

在審

• 申請號: 201911281490.6
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN111721195A
• 公開（公告）日: 2020-09-29
• 發明（設計）人: 小野田有吾;佐藤榮廣;長谷川晶一
• 申請（專利權）人: 日本株式會社日立高新技術科學
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00;G01B11/24;G01B21/04
• 代理公司: 北京三友知識產權代理有限公司 11127
• 代理人: 黃志堅;崔成哲

1.一種三維形狀計測方法，對測定對象物照射測定介質而根據干涉信號計測三維形狀，其特征在于，

在根據對基于所述干涉信號的干涉條紋進行拍攝的攝像元件的焦點位置與所述干涉條紋的出現位置之間的距離的差來進行位置調整時，使所述攝像元件的位置移動而進行位置調整，以使所述距離的差為規定的值以下。

2.根據權利要求1所述的三維形狀計測方法，其中，

針對所配置的多個干涉物鏡中的每個干涉物鏡，將所述攝像元件的位置的移動量存儲為各自的校正值，在下次之后的測定中，根據與要使用的所述干涉物鏡對應的所述校正值來進行校正。

3.根據權利要求1或2所述的三維形狀計測方法，其中，

進行與所述攝像元件的移動對應的橫倍率校正。

4.一種三維形狀計測裝置，該三維形狀計測裝置具有：光源，其產生恒定的波長的光；分束器，其對該光進行分割而使該光反射或透過；干涉物鏡，其使被該分束器反射后的所述光沿光軸的方向進行聚光而照射在測定對象物上，并且使從該測定對象物反射的測定光和從將要聚光到該測定對象物的該光分支而得到的參照光發生干涉；以及攝像元件，其檢測由該干涉物鏡產生的干涉信號并進行拍攝，該三維形狀計測裝置的特征在于，

該三維形狀計測裝置還具有攝像元件的位置調整機構，該位置調整機構在進行所述測定光與所述參照光的光學距離的調整時，使所述攝像元件沿z軸方向移動。

5.根據權利要求4所述的三維形狀計測裝置，其中，

該三維形狀計測裝置包含取得由所述攝像元件檢測出的干涉信號并對該干涉信號進行儲存和處理的數據處理部，該數據處理部具有位置調整距離的存儲部，該存儲部存儲或調用通過所述位置調整機構使所述攝像元件移動后的位置調整距離，作為與所述干涉物鏡對應的校正值。

6.根據權利要求4或5所述的三維形狀計測裝置，其中，

所述數據處理部具有橫倍率校正部，該橫倍率校正部在所述位置調整機構進行動作時對檢測信號補償橫倍率的變化。