[發明專利]集成閉環式磁場傳感器在審
| 申請號： | 201911279203.8 | 申請日： | 2019-12-13 |
| 公開（公告）號： | CN110865320A | 公開（公告）日： | 2020-03-06 |
| 發明（設計）人： | 劉明;關蒙萌;胡忠強;周子堯;朱家訓;吳金根 | 申請（專利權）人： | 珠海多創科技有限公司 |
| 主分類號： | G01R33/05 | 分類號： | G01R33/05 |
| 代理公司： | 廣東朗乾律師事務所 44291 | 代理人： | 楊煥軍 |
| 地址： | 519000 廣東省珠海市*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 集成 閉環 磁場 傳感器 | ||
1.集成閉環式磁場傳感器，其特征在于，包括：
襯底；
設置于所述襯底上的磁阻傳感層，所述磁阻傳感層上設置有用于向外輸出電壓信號的輸出端；
設置于所述磁阻傳感層上的絕緣層；
設置于所述絕緣層上的磁電復合層，所述磁電復合層包括位于所述絕緣層上的鐵磁層和位于所述鐵磁層上的壓電層，所述鐵磁層上設置有用于接收反饋電壓的電壓加載端。
2.如權利要求1所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述磁阻傳感層為磁阻薄膜。
3.如權利要求1或2所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述磁阻傳感層為AMR單元或GMR單元或TMR單元或GMI單元。
4.如權利要求1所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述磁阻傳感層為橋式結構。
5.如權利要求1所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述磁電復合層由磁致伸縮系數≥50ppm且靜態磁導率≥10000的鐵磁材料和電致伸縮系數≥500ppm的鐵電材料復合而成。
6.如權利要求5所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述鐵磁材料為FeCoB或FeGaB或FeCoBSi或FeCoB。
7.如權利要求5所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述鐵電材料為PZT或PZN-PT或PMN-PT或AlN或HfO2。
8.如權利要求1所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述鐵磁層與所述磁阻傳感層之間的距離為15nm～100nm。
9.如權利要求1所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述輸出端與外部的放大電路相連，將磁阻傳感層的電壓信號輸出至放大電路，放大電路將電壓信號放大后反饋至所述磁電復合層，反饋電壓通過所述電壓加載端加載在所述磁電復合層上。
10.如權利要求1或9所述的集成閉環式磁場傳感器，其特征在于：所述輸出端包括第一接線點和第二接線點，所述電壓加載端包括第三接線點和第四接線點，所述磁阻傳感層上設置有供電端口。
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