[發明專利]一種壓電驅動式隧道磁阻面內檢測的微陀螺裝置

在審

• 申請號: 201911278616.4
• 申請日: 2019-12-13
• 公開（公告）號: CN110966997A
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發明（設計）人: 李孟委;王旭虎
• 申請（專利權）人: 中北大學
• 主分類號: G01C19/5656
• 分類號: G01C19/5656;G01C19/5663
• 代理公司: 北京惠智天成知識產權代理事務所(特殊普通合伙) 11681
• 代理人: 劉瑩瑩

1.一種壓電驅動式隧道磁阻面內檢測的微陀螺裝置，包括：鍵合基板(1)和設置在所述鍵合基板(1)上的支撐框架(4)，所述支撐框架(4)內側設置有驅動質量塊(5)，所述驅動質量塊(5)內側設置有檢測質量塊(6)，所述驅動質量塊(5)的邊角通過驅動組合梁組件與外部的支撐框架(4)連接，所述檢測質量塊(6)的邊角通過檢測組合梁組件與驅動質量塊(5)連接，所述質量檢測快(6)中心設置有隧道磁阻元件(7)，其特征在于：

還包括：壓電薄膜驅動電極組件和檢測電極(20)，所述壓電薄膜驅動電極組件設置在驅動組合梁組件上，所述壓電薄膜驅動電極組件包括第一壓電薄膜驅動電極(22)、第二壓電薄膜驅動電極(23)、第三壓電薄膜驅動電極(24)、第四壓電薄膜驅動電極(25)，所述第一壓電薄膜驅動電極(22)、第二壓電薄膜驅動電極(23)、第三壓電薄膜驅動電極(24)、第四壓電薄膜驅動電極(25)分別設置在驅動組合梁組件上，所述檢測電極(20)設置在靠近所述第二壓電薄膜驅動電極(23)和第三壓電薄膜驅動電極(24)的位置，所述隧道磁阻元件(7)通過信號檢測導線(21)分別連接所述檢測電極(20)。

2.根據權利要求1所述的壓電驅動式隧道磁阻面內檢測的微陀螺裝置，其特征在于，所述驅動組合梁組件包括：第一驅動組合梁(8)、第二驅動組合梁(9)、第三驅動組合梁(10)、第四驅動組合梁(11)，所述第一驅動組合梁(8)、第二驅動組合梁(9)、第三驅動組合梁(10)、第四驅動組合梁(11)分別設置在所述驅動質量塊(5)的四個邊角處，所述第一驅動組合梁(8)、第二驅動組合梁(9)、第三驅動組合梁(10)、第四驅動組合梁(11)結構相同，均由第一驅動梁(26)、第二驅動梁(27)和驅動梁連接塊(28)組成，第一驅動梁(26)、第二驅動梁(27)分別位于驅動梁連接塊(28)兩側并相互平行，所述第一驅動梁(26)一端與所述驅動質量塊(5)連接，所述第一驅動梁(26)另一端與支撐框架(4)連接，所述第二驅動梁(27)一端與所述驅動質量塊(5)連接，所述第二驅動梁(27)另一端與所述驅動梁連接塊(28)的一端連接，所述驅動梁連接塊(28)的另一端與支撐框架(4)連接。

3.根據權利要求1所述的壓電驅動式隧道磁阻面內檢測的微陀螺裝置，其特征在于，所述檢測組合梁組件組件包括：第一檢測組合梁(12)、第二檢測組合梁(13)、第三檢測組合梁(14)、第四檢測組合梁(15)，所述第一檢測組合梁(12)、第二檢測組合梁(13)、第三檢測組合梁(14)、第四檢測組合梁(15)分別沒置在所述檢測質量塊(6)上靠近邊角處，所述第一檢測組合梁(12)，第二檢測組合梁(13)，第三檢測組合梁(14)、第四檢測組合梁(15)結構相同，均由第一檢測梁(29)、第二檢測梁(30)以及檢測梁連接塊(31)組成，所述檢測梁連接塊(31)一端的兩側設置有突出部，整體呈“T”形，所述第一檢測梁(29)和第二檢測梁(30)分別位于檢測梁連接塊(31)兩側并分別與突出部連接，所述第一檢測梁(29)、第二檢測梁(30)的另一端與所述連接檢測質量塊(6)連接，所述檢測梁連接塊(31)的另一端與所述驅動質量塊(5)連接。

4.根據權利要求1所述的壓電驅動式隧道磁阻面內檢測的微陀螺裝置，其特征在于，所述第一壓電薄膜驅動電極(22)、第二壓電薄膜驅動電極(23)、第三壓電薄膜驅動電極(24)、第四壓電薄膜驅動電極(25)分別對應設置在所述驅動質量塊(5)的四個邊角處的第一驅動梁(26)上。