[發明專利]一種防真空泄漏設備

有效

• 申請號: 201911277095.0
• 申請日: 2019-12-12
• 公開（公告）號: CN111081522B
• 公開（公告）日: 2022-09-27
• 發明（設計）人: 王帆
• 申請（專利權）人: 武漢華星光電技術有限公司
• 主分類號: H01J37/32
• 分類號: H01J37/32;G02F1/13
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 遠明

本申請提供一種防真空泄漏設備，其包括：反應腔；配管，連通至所述反應腔；銷子，可活動式地插入至所述配管地一端；以及密封結構，設于所述銷子與所述配管的連接處。所述過防真空泄漏設備還包括彈性部件，連接所述配管與所述銷子。當所述反應腔內部壓力小于或等于大氣壓時，所述配管的管體內側壁與所述銷子的銷桿外側壁相切；當所述反應腔內部壓力大于大氣壓時，所述配管的管體內側壁與所述銷子的銷桿外側壁存在間隙。

技術領域

本申請涉及顯示面板制造設備領域，尤其涉及一種防真空泄漏設備。

背景技術

近年來，中小尺寸液晶顯示器發展迅猛，LCD、OLED以及LTPS制程均需要使用干法蝕刻機，由于干法蝕刻機里面的腔室都要保證真空無泄漏，且有時還需要在大氣(ATM)和真空之間互相切換。

現有的干法刻蝕機臺過壓(over pressure)裝置是在反應腔底部安裝一個氣動閥，氣動閥用于控制過壓裝置的開啟與關閉，而氣動閥下部連接一個單向緩沖閥。當腔體過壓時，機臺電磁閥驅動氣動閥，使腔體直接連接至緩沖閥，并與大氣相連，這時，腔體過高的壓力通過緩沖閥向外排出，最終讓腔體內外壓力保持一致。由于電磁閥完全依賴于電路結構實現控制，而電路控制有時會出現電控異常現象，導致現有的過壓裝置發生真空泄漏(chamber leak)情況，進而導致顯示面板干法刻蝕不均，關鍵尺寸(CD)難以控制，容易發生線路斷路等風險。

發明內容

本申請的目的在于，提供一種防真空泄漏設備，以解決現有技術的電路控制方案容易產生電控異常現象，導致真空泄漏現象的技術問題。

為了解決上述問題，本申請提供一種防真空泄漏設備，包括：反應腔；配管，連通至所述反應腔；銷子，可活動式地插入至所述配管內的一端；以及密封結構，設于所述銷子與所述配管的連接處。

進一步地，所述配管包括：管體；第一端口，設于所述管體的一端，且連通至所述反應腔；以及第二端口，設于所述管體的另一端；其中，所述管體的內徑由所述第二端口向所述第一端口逐漸縮小。

進一步地，所述管體一端可拆卸式連通至所述反應腔的一側壁或一底面或一頂面；所述管體的另一端設有一環形突出部。

進一步地，所述銷子包括：銷頭，其一側的表面與所述配管的所述第二端口相接；以及銷桿，垂直連接至所述銷頭一側的表面，且插入至所述配管的所述第二端口；其中，所述銷桿的外徑配合所述管體的內徑由所述銷頭側向遠離所述銷頭的一側逐漸縮小。

進一步地，所述銷桿為柱體或臺體。

進一步地，所述密封結構為密封圈，其一側的表面與所述銷子的所述銷頭一側的表面相接，其另一側的表面與所述管體的所述環形突出部相接。

進一步地，所述密封圈為彈性材質，可選自橡膠、硅膠材質其中之一或其組合。

進一步地，還包括：彈性部件，連接所述配管與所述銷子。

進一步地，所述彈性部件為一彈簧，其一端連接至所述配管的所述環形突出部，其另一端連接至所述銷子的所述銷頭。

進一步地，當所述反應腔內部壓力小于或等于大氣壓時，所述配管的管體內側壁與所述銷子的所述銷桿外側壁相接；當所述反應腔內部壓力大于大氣壓時，所述配管的所述管體內側壁與所述銷子的所述銷桿外側壁存在間隙。

本申請的有利效果在于，當反應腔破真空，壓力超過大氣壓時，反應腔內部的壓力就會把銷子頂開，使反應腔內部的壓力快速釋放出來。該裝置是純機械組成，有效地避免了電控異常導致的反應腔真空泄漏，保證刻蝕的均勻性，防止發生斷路等風險。

附圖說明

下面結合附圖，通過對本申請的具體實施方式詳細描述，將使本申請的技術方案及其它有益效果顯而易見。

圖1為本申請防真空泄漏設備的結構示意圖。