[發(fā)明專(zhuān)利]一種高溫三維電容層析成像傳感器及其成像裝置有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 201911276158.0 | 申請(qǐng)日: | 2019-12-12 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN112986342B | 公開(kāi)(公告)日: | 2022-12-20 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 孟霜鶴;葉茂;黃凱;申敬敬;劉中民 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 中國(guó)科學(xué)院大連化學(xué)物理研究所 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G01N27/22 | 分類(lèi)號(hào): | G01N27/22 |
| 代理公司: | 北京元周律知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11540 | 代理人: | 校麗麗 |
| 地址: | 116023 *** | 國(guó)省代碼: | 遼寧;21 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 一種 高溫 三維 電容 層析 成像 傳感器 及其 裝置 | ||
1.一種高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述傳感器包括:絕緣管道、測(cè)量電極和第一信號(hào)傳輸線;
所述絕緣管道為中空結(jié)構(gòu),用于供流體流動(dòng);
所述測(cè)量電極設(shè)置在所述絕緣管道的外壁上,用于采集電容數(shù)據(jù);
所述測(cè)量電極包括M行N列的電極片,每行電極片錯(cuò)位排列;所述電極片為弧形的瓦狀電極,其展開(kāi)形狀為菱形、六邊形、圓形或橢圓形中的任一種;
每行中各相鄰的所述電極片之間設(shè)有間隙,所述間隙的寬度容納相鄰行的電極片的一端,相鄰兩行電極片互相錯(cuò)位嵌合排列;
相鄰兩行中,下行電極片的中心點(diǎn),正對(duì)上行電極片中兩兩相鄰電極片的間隙中心點(diǎn);上行電極片的中心點(diǎn),正對(duì)下行電極片中兩兩相鄰電極片的間隙中心點(diǎn);
其中,M≥2,N≥4,M和N取自然數(shù);
所述第一信號(hào)傳輸線的個(gè)數(shù)為M*N個(gè),所述第一信號(hào)傳輸線與所述電極片一一相連,用于輸出所述電容數(shù)據(jù);
所述傳感器應(yīng)用于室溫至800℃的環(huán)境下。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述弧形的瓦狀電極采用導(dǎo)體圓管通過(guò)程控激光切割技術(shù)加工。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述電極片的間隙中設(shè)置有柔性絕緣材料。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述傳感器還包括絕緣層;
所述絕緣層設(shè)置在所述測(cè)量電極的外表面,所述絕緣層將所述測(cè)量電極上連接的第一信號(hào)傳輸線隔離在所述絕緣層的外側(cè)。
5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,每個(gè)所述第一信號(hào)傳輸線包括金屬絲和套設(shè)在金屬絲外的絕緣套管;
所述金屬絲預(yù)先設(shè)置在所述電極片上,用于傳輸電容數(shù)據(jù);
所述絕緣套管用于保護(hù)和隔離所述金屬絲。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,每個(gè)所述第一信號(hào)傳輸線還包括屏蔽絲網(wǎng),所述屏蔽絲網(wǎng)用于屏蔽信號(hào)。
7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述傳感器還包括屏蔽固定層;
所述屏蔽固定層設(shè)置在所述絕緣層的外側(cè),所述屏蔽固定層的軸向兩端長(zhǎng)于所述測(cè)量電極,且所述屏蔽固定層與所述第一信號(hào)傳輸線的屏蔽絲網(wǎng)電連接。
8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述傳感器還包括多個(gè)緊固卡子;
所述多個(gè)緊固卡子設(shè)置在所述屏蔽固定層的外側(cè),用于將所述測(cè)量電極、絕緣層和第一信號(hào)傳輸線固定在所述絕緣管道上,并將所述屏蔽固定層軸向兩端長(zhǎng)出所述測(cè)量電極的區(qū)域卡緊,屏蔽所述絕緣管道軸端的信號(hào)。
9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的高溫三維電容層析成像傳感器,其特征在于,所述傳感器還包括支撐層和外屏蔽罩;
所述支撐層設(shè)置在所述屏蔽固定層和緊固卡子的外側(cè),用于支撐所述外屏蔽罩;
所述外屏蔽罩設(shè)置在所述支撐層的外側(cè),所述外屏蔽罩分別與所述屏蔽固定層、所述第一信號(hào)傳輸線的屏蔽絲網(wǎng)電連接。
10.一種高溫三維電容層析成像裝置,其特征在于,包括信號(hào)采集系統(tǒng)、成像顯示系統(tǒng)和如權(quán)利要求1~9任一項(xiàng)所述的高溫三維電容層析成像傳感器;
所述信號(hào)采集系統(tǒng)與所述高溫三維電容層析成像傳感器通過(guò)信號(hào)傳輸線電連接,用于采集所述高溫三維電容層析成像傳感器獲取的電容數(shù)據(jù);
所述成像顯示系統(tǒng)與所述信號(hào)采集系統(tǒng)電連接,用于處理所述高溫三維電容層析成像傳感器獲取的電容數(shù)據(jù),并獲得高溫三維成像。
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