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[發明專利]一種研磨液清洗劑及其制備方法在審

專利信息
申請號: 201911273167.4 申請日: 2019-12-12
公開(公告)號: CN110923727A 公開(公告)日: 2020-03-27
發明(設計)人: 陳騰飛 申請(專利權)人: 廣東紅日星實業有限公司
主分類號: C23G1/12 分類號: C23G1/12;C23G1/06
代理公司: 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 代理人: 黃琳娟
地址: 529724 廣東*** 國省代碼: 廣東;44
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 一種 研磨 洗劑 及其 制備 方法
【權利要求書】:

1.一種研磨液清洗劑,其特征在于,按重量份數計,包括以下組分:

2.根據權利要求1所述的研磨液清洗劑,其特征在于,按重量份數計,包括以下組分:

3.根據權利要求1或2所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述表面活性劑為有機胺酯類表面活性劑。

4.根據權利要求3所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述有機胺酯類表面活性劑為甲基醇胺酯類表面活性劑。

5.根據權利要求4所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述甲基醇胺酯類表面活性劑為有機胺酯TPP。

6.根據權利要求1或2所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述緩蝕劑為硅氧烷酮。

7.權利要求1-6中任一項所述的研磨液清洗劑的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:

將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑混合,攪拌,加入聚丙烯酸鈉,攪拌,得到混合液一;

將表面活性劑、乙二醇單丁醚加入所得混合液一,攪拌,得到研磨液清洗劑。

8.根據權利要求7所述的制備方法,其特征在于,將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑混合,在20-35℃下攪拌10-30min,攪拌速度為60-80rpm,加入聚丙烯酸鈉,攪拌10-30min,得到混合液一。

9.根據權利要求8所述的制備方法,其特征在于,將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑加入到反應釜中混合,在20-35℃下攪拌10-30min,攪拌速度為60-80rpm,緩慢加入聚丙烯酸鈉,攪拌10-30min,得到混合液一。

10.根據權利要求7所述的制備方法,其特征在于,將表面活性劑、乙二醇單丁醚加入所得混合液一,攪拌20-30min,攪拌速度為60-80rpm,得到研磨液清洗劑。

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