[發明專利]一種研磨液清洗劑及其制備方法在審
| 申請號: | 201911273167.4 | 申請日: | 2019-12-12 |
| 公開(公告)號: | CN110923727A | 公開(公告)日: | 2020-03-27 |
| 發明(設計)人: | 陳騰飛 | 申請(專利權)人: | 廣東紅日星實業有限公司 |
| 主分類號: | C23G1/12 | 分類號: | C23G1/12;C23G1/06 |
| 代理公司: | 廣州嘉權專利商標事務所有限公司 44205 | 代理人: | 黃琳娟 |
| 地址: | 529724 廣東*** | 國省代碼: | 廣東;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 研磨 洗劑 及其 制備 方法 | ||
1.一種研磨液清洗劑,其特征在于,按重量份數計,包括以下組分:
2.根據權利要求1所述的研磨液清洗劑,其特征在于,按重量份數計,包括以下組分:
3.根據權利要求1或2所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述表面活性劑為有機胺酯類表面活性劑。
4.根據權利要求3所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述有機胺酯類表面活性劑為甲基醇胺酯類表面活性劑。
5.根據權利要求4所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述甲基醇胺酯類表面活性劑為有機胺酯TPP。
6.根據權利要求1或2所述的研磨液清洗劑,其特征在于,所述緩蝕劑為硅氧烷酮。
7.權利要求1-6中任一項所述的研磨液清洗劑的制備方法,其特征在于,包括以下步驟:
將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑混合,攪拌,加入聚丙烯酸鈉,攪拌,得到混合液一;
將表面活性劑、乙二醇單丁醚加入所得混合液一,攪拌,得到研磨液清洗劑。
8.根據權利要求7所述的制備方法,其特征在于,將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑混合,在20-35℃下攪拌10-30min,攪拌速度為60-80rpm,加入聚丙烯酸鈉,攪拌10-30min,得到混合液一。
9.根據權利要求8所述的制備方法,其特征在于,將水、氨基磺酸、水楊酸和緩蝕劑加入到反應釜中混合,在20-35℃下攪拌10-30min,攪拌速度為60-80rpm,緩慢加入聚丙烯酸鈉,攪拌10-30min,得到混合液一。
10.根據權利要求7所述的制備方法,其特征在于,將表面活性劑、乙二醇單丁醚加入所得混合液一,攪拌20-30min,攪拌速度為60-80rpm,得到研磨液清洗劑。
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