[發(fā)明專(zhuān)利]引線焊接結(jié)構(gòu)、引線焊接方法及半導(dǎo)體器件

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911269007.2
• 申請(qǐng)日: 2019-12-11
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN112951789A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 吳秉桓
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/49
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/49;H01L23/498;H01L21/603
• 代理公司: 廣州華進(jìn)聯(lián)合專(zhuān)利商標(biāo)代理有限公司 44224
• 代理人: 石慧

本申請(qǐng)涉及一種引線焊接結(jié)構(gòu)、基于該引線焊接結(jié)構(gòu)的引線焊接方法及通過(guò)該引線焊接方法形成的半導(dǎo)體器件。其中，引線焊接結(jié)構(gòu)包括形成于基底內(nèi)的電路層和依次疊設(shè)于電路層上的焊墊、阻擋層和鈍化層，阻擋層的硬度大于焊墊的硬度，阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)有暴露出焊墊的第一窗口且第一窗口未超出預(yù)設(shè)區(qū)域，預(yù)設(shè)區(qū)域的寬度小于打線后的焊球的寬度；鈍化層上開(kāi)設(shè)有寬度大于預(yù)設(shè)區(qū)域的第二窗口，通過(guò)第二窗口暴露出全部預(yù)設(shè)區(qū)域的第二窗口。通過(guò)在鈍化層和焊墊之間設(shè)置阻擋層，在阻擋層上可設(shè)第一窗口并限定阻擋層的開(kāi)窗范圍，打線后的焊球可以覆蓋所有第一窗口，使焊球與焊墊焊接的同時(shí)，還能避免焊墊溢出。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體領(lǐng)域，尤其涉及一種引線焊接結(jié)構(gòu)、引線焊接方法及半導(dǎo)體器件。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的后段制程中，會(huì)涉及到引線的焊接，以從基底內(nèi)的電路層引出電連接端子。為保護(hù)電路層，通常在電路層上還設(shè)有一層軟質(zhì)的金屬層作為焊墊，焊球具體是與焊墊焊接。由于焊墊質(zhì)地相對(duì)較軟，將焊球按壓于焊墊上時(shí)，一方面，受擠壓的焊墊金屬會(huì)向兩側(cè)排出，使焊球與電路層之間的焊墊變薄或焊球直接作用于電路層上，導(dǎo)致電路層受到的沖擊力較大而斷裂；另一方面，受擠壓的焊墊金屬向兩側(cè)排出時(shí)，會(huì)在兩側(cè)形成導(dǎo)電顆粒，影響器件的電性性能。

發(fā)明內(nèi)容

基于此，本申請(qǐng)?zhí)岢鲆环N引線焊接結(jié)構(gòu)、引線焊接方法及半導(dǎo)體器件，可避免引線焊接過(guò)程對(duì)器件性能的影響。

為解決上述技術(shù)問(wèn)題，本申請(qǐng)?zhí)岢龅牡谝环N技術(shù)方案為：

一種引線焊接結(jié)構(gòu)，包括：

基底；

電路層，形成于所述基底內(nèi)；

焊墊，形成于所述電路層上并與所述電路層電連接；

阻擋層，形成于所述焊墊上，所述阻擋層的硬度大于所述焊墊的硬度，所述阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)有暴露出所述焊墊的第一窗口且所述第一窗口未超出所述預(yù)設(shè)區(qū)域，所述預(yù)設(shè)區(qū)域的寬度小于打線后的焊球的寬度；以及

鈍化層，形成于所述阻擋層上，所述鈍化層上開(kāi)設(shè)有寬度大于所述預(yù)設(shè)區(qū)域?qū)挾鹊牡诙翱冢ㄟ^(guò)所述第二窗口暴露出全部所述預(yù)設(shè)區(qū)域。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)一個(gè)第一窗口，且所述第一窗口的投影與所述預(yù)設(shè)區(qū)域的投影重合。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)有一個(gè)第一窗口，所述第一窗口呈環(huán)形且所述第一窗口的外邊沿與所述預(yù)設(shè)區(qū)域的邊沿重合。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)區(qū)域包含一被所述第一窗口包圍的島狀區(qū)域，所述島狀區(qū)域的寬度小于打線前的焊球的寬度。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的第一窗口，所述第一窗口呈條形且各所述第一窗口并列設(shè)置。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述阻擋層的預(yù)設(shè)區(qū)域內(nèi)開(kāi)設(shè)有多個(gè)間隔設(shè)置的第一窗口，所述預(yù)設(shè)區(qū)域的阻擋層呈網(wǎng)格狀。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述第二窗口的開(kāi)口寬度大于打線后的焊球的寬度。

在其中一個(gè)實(shí)施例中，所述預(yù)設(shè)區(qū)域的寬度比打線后的焊球的寬度小8μm～12μm。