[發明專利]掩模機械手及掩模傳輸方法

在審

• 申請號: 201911266271.0
• 申請日: 2019-12-11
• 公開（公告）號: CN111324017A
• 公開（公告）日: 2020-06-23
• 發明（設計）人: 南兌澔
• 申請（專利權）人: 夏泰鑫半導體（青島）有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20;B25J15/06
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 彭輝劍;龔慧惠

1.一種掩模機械手，用于傳輸掩模，其特征在于：所述掩模機械手包括主體、至少兩夾持機構及至少兩清掃機構，所述主體包括連接部及兩個延伸部，所述連接部的兩端分別與對應的所述延伸部相連形成一容置所述掩模的空間，所述夾持機構設于所述延伸部上，用于將所述掩模夾持于兩個所述延伸部之間，所述清掃機構位于所述延伸部遠離所述連接部的一端，向所述掩模吹掃清潔氣體以吹起污染物，且所述清潔氣體的吹掃方向與所述延伸部呈30°至45°夾角。

2.如權利要求1所述的掩模機械手，其特征在于：所述夾持機構開設真空通道，并外接抽真空裝置，通過負壓吸取所述掩模。

3.如權利要求2所述的掩模機械手，其特征在于：所述真空通道延伸至所述延伸部內。

4.如權利要求1所述的掩模機械手，其特征在于：所述夾持機構設有夾持所述掩模的夾持槽。

5.如權利要求1所述的掩模機械手，其特征在于：所述清潔氣體為惰性氣體。

6.如權利要求1所述的掩模機械手，其特征在于：所述掩模機械手還包括至少兩抽氣機構，所述抽氣機構與所述清掃機構相對設置，并位于所述延伸部靠近所述連接部的一端或所述連接部上，用于抽氣收集被所述清掃機構吹起的污染物。

7.如權利要求6所述的掩模機械手，其特征在于：所述掩模機械手還包括控制機構，所述控制機構與所述清掃機構、所述抽氣機構電性連接或通信連接，以控制所述清掃機構及所述抽氣機構。

8.一種掩模傳輸方法，在兩個工位之間傳輸掩模，其特征在于，包括以下步驟：

在第一工位處抓取所述掩模；

向所述掩模吹掃清潔氣體并帶動所述掩模往第二工位傳輸，所述清潔氣體的吹掃方向與所述掩模的一條邊呈30°至45°夾角；

在所述第二工位放下所述掩模。

9.如權利要求8所述的掩模傳輸方法，其特征在于：傳輸所述掩模時在所述清潔氣體的吹掃方向抽氣，收集被吹起的污染物。

10.如權利要求8所述的掩模傳輸方法，其特征在于：所述清潔氣體為惰性氣體。