[發明專利]一種微噴砂后處理減小涂層摩擦系數的方法有效
| 申請號： | 201911265736.0 | 申請日： | 2019-12-11 |
| 公開（公告）號： | CN111101101B | 公開（公告）日： | 2022-11-01 |
| 發明（設計）人： | 鐘向麗;趙學書;宋宏甲;王金斌 | 申請（專利權）人： | 湖南六方晶科技有限責任公司 |
| 主分類號： | C23C14/32 | 分類號： | C23C14/32;C23C14/08;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京和信華成知識產權代理事務所(普通合伙) 11390 | 代理人： | 張永輝 |
| 地址： | 410000 湖南省湘潭市高*** | 國省代碼： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 噴砂 處理 減小 涂層 摩擦系數 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種微噴砂后處理減小涂層摩擦系數的方法，其特征在于，包括以下步驟：
(1)樣品前處理：將已沉積涂層的樣品分別放入丙酮和乙醇中超聲清洗，去除表面油污和水漬，所選取樣品均采用電弧離子鍍方法在樣品表面沉積涂層，且涂層表面無裂紋、損壞及其它缺陷，超聲清洗時長為15-30min；
(2)裝夾進爐：將處理后的樣品均勻固定在轉架上，并裝入電弧離子鍍膜機內；
(3)加熱、抽真空：將爐腔內抽至真空，并升高溫度，抽至真空的壓力為7×10^4-7×10^3Pa，溫度升高到300-400℃；
(4)沉積氧化物涂層：在樣品表面沉積一層厚度較薄的非晶態的氧化物涂層；
(5)對涂層進行微噴砂后處理：待涂層沉積完畢后，降低溫度，冷卻后取出樣品，對已沉積涂層的樣品進行微噴砂后處理。
2.根據權利要求1所述一種微噴砂后處理減小涂層摩擦系數的方法，其特征在于，在步驟(4)中，沉積氧化物采用電弧離子鍍。
3.根據權利要求2所述一種微噴砂后處理減小涂層摩擦系數的方法，其特征在于，在步驟(5)中，微噴砂采用的是600-1000#的Al2O3砂，壓力為1-4kg，手動干噴的時長為10-30s。
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