[發明專利]磁場檢測裝置和磁場檢測方法

在審

• 申請號: 201911256952.9
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN111381202A
• 公開（公告）日: 2020-07-07
• 發明（設計）人: 牧野健三;平林啟
• 申請（專利權）人: TDK株式會社
• 主分類號: G01R33/09
• 分類號: G01R33/09
• 代理公司: 北京尚誠知識產權代理有限公司 11322
• 代理人: 楊琦

1.一種磁場檢測裝置，具備：

磁檢測元件，具有沿著第一方向的靈敏度軸；

調制部，可以對所述磁檢測元件施加應力，所述應力包括與所述第一方向正交的第二方向的分量且以第一頻率振動；以及

解調部，對來自所述磁檢測元件的所述第一頻率的輸出信號進行解調，并且根據所述輸出信號的振幅檢測所述磁檢測元件受到的被測定磁場的強度。

2.根據權利要求1所述的磁場檢測裝置，其中，

所述調制部具有：

變形部，包括第一基部和第一電極，所述第一基部顯示彈性，所述第一電極設置在所述第一基部上；以及

固定部，包括第二基部和第二電極，所述第二基部顯示比所述第一基部高的剛性，所述第二電極設置在所述第二基部上且與所述第一電極分開相對，

所述磁檢測元件以與所述第一電極電絕緣的方式設置在所述變形部上，

通過對所述第一電極和所述第二電極施加交流電壓，在所述變形部與所述固定部之間產生靜電力。

3.根據權利要求1所述的磁場檢測裝置，其中，

所述調制部具有第一電極、第二電極和設置在所述第一電極與所述第二電極之間的壓電體，

所述磁檢測元件以與所述第一電極和所述第二電極的雙方電絕緣的方式設置在所述調制部上，

通過對所述第一電極和所述第二電極施加交流電壓，而使所述壓電體變形。

4.根據權利要求1至權利要求3中的任一項所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部具有高通濾波器，所述高通濾波器使小于所述第一頻率且大于等于第二頻率的頻率分量通過。

5.根據權利要求4所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部進一步具有相位檢波電路，所述相位檢波電路參照所述第一頻率的方波取出相位檢波信號，所述第一頻率的方波的相位與來自所述磁檢測元件的所述輸出信號的相位相同。

6.根據權利要求5所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部進一步具有低通濾波器，所述低通濾波器使所述相位檢波信號中的被測定分量平滑化且使其通過。

7.根據權利要求6所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部進一步具有A/D轉換部，所述A/D轉換部進行通過所述低通濾波器的被測定分量的A/D轉換。

8.根據權利要求4所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部進一步具有采樣保持電路。

9.根據權利要求8所述的磁場檢測裝置，其中，

所述解調部進一步具有A/D轉換部，所述A/D轉換部進行通過所述采樣保持電路的樣品分量的A/D轉換。

10.根據權利要求9所述的磁場檢測裝置，其中，

所述A/D轉換部對多個所述樣品分量進行伴隨時間平均處理的所述A/D轉換。

11.根據權利要求1至權利要求10中的任一項所述的磁場檢測裝置，其中，

對所述磁檢測元件，進一步具備施加包括所述第二方向的分量的偏磁場的偏磁場施加部。

12.一種磁場檢測方法，包括：

對磁檢測元件施加應力，所述磁檢測元件具有沿著第一方向的靈敏度軸，所述應力包括與所述第一方向正交的第二方向的分量且以第一頻率振動；以及

根據來自所述磁檢測元件的所述第一頻率的輸出信號的振幅，檢測所述磁檢測元件受到的被測定磁場的強度。