[發(fā)明專利]籠型聚倍半硅氧烷低聚物、壓印型光刻膠及其制備方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911256902.0
• 申請(qǐng)日: 2019-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN111944149A
• 公開（公告）日: 2020-11-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 秦龍;花雷;耿文練
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 上海函泰電子科技有限公司
• 主分類號(hào): C08G77/04
• 分類號(hào): C08G77/04;C08G77/06;G03F7/075
• 代理公司: 上海劍秋知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 31382
• 代理人: 楊飛

1.一種籠型聚倍半硅氧烷低聚物，其特征在于，所述籠型聚倍半硅氧烷低聚物的結(jié)構(gòu)通式為以下幾種中的一種：

其中，所述結(jié)構(gòu)通式中的X₀為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；X₁為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；X₂為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類結(jié)構(gòu)單元；X₃為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；R₀為氫或者烷烴類、醚類、羧酸類、胺類、酚類、醇類結(jié)構(gòu)單元；R₁為氫或甲基；R₂為氫或甲基；n為1～20的整數(shù)。

2.一種如權(quán)利要求1所述籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，包括以下步驟：

(1)將含氟有機(jī)硅氧烷單體、芳香基有機(jī)硅氧烷單體以及第二有機(jī)硅氧烷單體按摩爾比為1：1～3：0～3的比例溶于第一溶劑中，加入濃鹽酸反應(yīng)；

(2)反應(yīng)結(jié)束后冷卻，過濾得到沉淀物，并將沉淀物溶于第二溶劑中，然后加入過量第一溶劑析出，得到沉淀物，反復(fù)多次后，得到固體，真空干燥，得到籠型聚倍半硅氧烷低聚物；

其中，所述第二有機(jī)硅氧烷單體包括丙烯酰氧基有機(jī)硅氧烷單體或烷基烯烴類有機(jī)硅氧烷單體中的一種。

3.如權(quán)利要求2所述的籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，所述含氟有機(jī)硅氧烷單體的結(jié)構(gòu)式如下：

結(jié)構(gòu)式中的n為1～20的整數(shù)；

優(yōu)選的，所述含氟有機(jī)硅氧烷單體選自以下幾種結(jié)構(gòu)式中的一種：

4.如權(quán)利要求2所述的籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，所述芳香基有機(jī)硅氧烷單體選自以下幾種結(jié)構(gòu)式中的一種：

其中，

結(jié)構(gòu)式中的X₀為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；R₀為氫或者烷烴類、醚類、羧酸類、胺類、酚類、醇類結(jié)構(gòu)單元；R₂為氫或甲基；

優(yōu)選的，所述選自以下幾種結(jié)構(gòu)式中的一種：

優(yōu)選的，所述選自以下幾種結(jié)構(gòu)式中的一種：

5.如權(quán)利要求2所述的籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，所述丙烯酰氧基有機(jī)硅氧烷單體的結(jié)構(gòu)式如下：

其中，

結(jié)構(gòu)式中的X1為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；R1為氫或甲基；

優(yōu)選的，所述丙烯酰氧基有機(jī)硅氧烷單體的結(jié)構(gòu)式選自以下幾種之一：

6.如權(quán)利要求2所述的籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，所述烷基烯烴類有機(jī)硅氧烷單體的結(jié)構(gòu)式如下：

其中，

結(jié)構(gòu)式中的X₃為含0～10個(gè)碳原子直鏈、支鏈、環(huán)狀烴類、醚類、亞胺類結(jié)構(gòu)單元；

優(yōu)選的，所述烷基烯烴類有機(jī)硅氧烷單體的結(jié)構(gòu)式選自以下幾種之一：

7.如權(quán)利要求2所述的籠型聚倍半硅氧烷低聚物的制備方法，其特征在于，所述第一溶劑包括甲醇；所述第二溶劑包括二氯甲烷；

步驟(1)中所述濃鹽酸的加入量與有機(jī)硅氧烷單體加入總質(zhì)量的質(zhì)量比1：1.5～1:4；

步驟(1)中，所述反應(yīng)的溫度為80～100℃，所述反應(yīng)的時(shí)間為28～30h；

步驟(2)中，重復(fù)的次數(shù)為至少3次；

步驟(2)中，所述真空干燥的真空度為0～10kPa，所述真空干燥的溫度為30～60℃，所述真空干燥的時(shí)間為48～96h。

8.一種含如權(quán)利要求1所述籠型聚倍半硅氧烷低聚物的壓印型光刻膠，其特征在于，所述光刻膠包括以下質(zhì)量百分比的組成：