[發(fā)明專利]一種組合式晶圓盒

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911256893.5
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN111092038A
• 公開（公告）日: 2020-05-01
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 許正根
• 申請（專利權(quán)）人: 許正根
• 主分類號: H01L21/673
• 分類號: H01L21/673
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種組合式晶圓盒，包括盒體，所述盒體的內(nèi)壁活動安裝有分割網(wǎng)，所述分割網(wǎng)包括固定管和隔離網(wǎng)。該組合式晶圓盒，固定管和隔離網(wǎng)在未充氣時，占用空間較少，不降低晶圓放置數(shù)量，在晶圓放入后，將固定管和隔離網(wǎng)充氣，固定管膨脹緊貼晶圓的載具，固定效果和緩沖效果更好，減少晶圓的碎裂，同時若受到較大的沖擊晶圓碎裂時，由于隔離網(wǎng)將兩片晶圓隔離開來，減少碎片傷害其他晶圓的概率，盒體和分割網(wǎng)為組合形式的，分開清理，沒有狹小的縫隙，清潔效果更好，內(nèi)部顆粒物整體較少，同時在隔離網(wǎng)膨脹時膨脹節(jié)互相摩擦產(chǎn)生靜電，會束縛住晶圓箱內(nèi)的微小顆粒，進一步降低顆粒物污染晶圓的概率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及集成電路技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種組合式晶圓盒。

背景技術(shù)

晶圓盒用于運輸和儲存晶圓，在運輸過程中，會發(fā)生晶圓破裂損毀的現(xiàn)象，而由于晶圓盒內(nèi)存儲很多片晶圓，晶圓碎片會在盒內(nèi)擴散并污染其他晶圓，而隨著工藝的進步，對晶圓質(zhì)量的要求越來越高，輕微的污染都可能導(dǎo)致晶圓報廢，而由于晶圓自身的價值也越來越高，減少晶圓破損帶來的污染帶來的損失也日益重要，一些晶圓盒內(nèi)會設(shè)置隔板，將晶圓盒隔離成幾個部分，以降低意外碎片帶來的損失，但是隔板不能設(shè)置過多，否則晶圓盒裝載晶圓的能力降低，單個腔室仍然有多片晶圓，可能會受到碎片污染。

進一步地，工藝提高對晶圓表面的潔凈度的要求也越來越高，雖然晶圓盒是封閉狀態(tài)的，但晶圓載具與晶圓盒插槽以及盒蓋與盒體之間的摩擦均會產(chǎn)生顆粒物，且盒蓋打開時也會吸附空氣中的顆粒，隨著盒內(nèi)顆粒的增多，也會污染盒內(nèi)的晶圓。

發(fā)明內(nèi)容

針對上述背景技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種組合式晶圓盒的技術(shù)方案，具有潔凈程度高，易于清洗的優(yōu)點，解決了背景技術(shù)提出的問題。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種組合式晶圓盒，包括盒體，所述盒體的內(nèi)壁活動安裝有分割網(wǎng)，所述分割網(wǎng)包括固定管和隔離網(wǎng)，所述固定管緊貼分割網(wǎng)內(nèi)壁，所述固定管和隔離網(wǎng)均充氣膨脹，所述隔離網(wǎng)充氣膨脹后封閉網(wǎng)孔，所述隔離網(wǎng)摩擦可產(chǎn)生靜電。

優(yōu)選的，所述固定管通過連接帶串連，所述分割網(wǎng)的前后端均設(shè)有定位板，所述定位板通過卡條卡槽結(jié)構(gòu)與盒體的內(nèi)側(cè)壁活動連接。

優(yōu)選的，所述固定管和隔離網(wǎng)連通，所述固定管的底部連通伸縮管并通過伸縮管連接外部充氣裝置。

優(yōu)選的，所述隔離網(wǎng)包括膨脹節(jié)和限位管，所述限位管呈繃緊狀態(tài)，所述膨脹節(jié)和限位管呈阡陌交錯狀態(tài)。

優(yōu)選的，所述膨脹節(jié)為中部通氣管外部膨脹氣囊的雙層結(jié)構(gòu)。

本發(fā)明具備以下有益效果：

1、該組合式晶圓盒，固定管和隔離網(wǎng)在未充氣時，占用空間較少，不降低晶圓放置數(shù)量，在晶圓放入后，將固定管和隔離網(wǎng)充氣，固定管膨脹緊貼晶圓的載具，固定效果和緩沖效果更好，減少晶圓的碎裂，同時若受到較大的沖擊晶圓碎裂時，由于隔離網(wǎng)將兩片晶圓隔離開來，減少碎片傷害其他晶圓的概率，有效減少損失。

2、該組合式晶圓盒，盒體和分割網(wǎng)為組合形式的，分開清理，沒有狹小的縫隙，清潔效果更好，內(nèi)部顆粒物整體較少，同時在隔離網(wǎng)膨脹時膨脹節(jié)互相摩擦產(chǎn)生靜電，會束縛住晶圓箱內(nèi)的微小顆粒，進一步降低顆粒物污染晶圓的概率，保證晶圓的品質(zhì)不下降。

附圖說明

圖1為本發(fā)明的正視圖；

圖2為本發(fā)明中分割網(wǎng)的俯視圖；

圖3為本發(fā)明的側(cè)視圖；

圖4為本發(fā)明中分割網(wǎng)局部結(jié)構(gòu)示意圖；

圖5為本發(fā)明中膨脹節(jié)的示意圖。

圖中：1、盒體；2、分割網(wǎng)；21、固定管；22、隔離網(wǎng)；22a、限位管；22b、膨脹節(jié)；23、連接帶；24、定位板；25、伸縮管。