[發明專利]一種微鏡及包含該微鏡的激光投影系統

在審

• 申請號: 201911256880.8
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN113031255A
• 公開（公告）日: 2021-06-25
• 發明（設計）人: 馬宏
• 申請（專利權）人: 覺芯電子（無錫）有限公司
• 主分類號: G02B26/08
• 分類號: G02B26/08;G02B26/10;G02B27/48;G03B21/28
• 代理公司: 廣州三環專利商標代理有限公司 44202
• 代理人: 郝傳鑫;賈允

1.一種微鏡，其特征在于：包括鏡面(1)、過渡框架(2)、多個柔性彈簧(3)、多個懸臂梁(4)和多個驅動部分，多個所述柔性彈簧(3)、懸臂梁(4)和驅動部分一一對應；所述微鏡外圍設置有所述過渡框架(2)，所述微鏡與所述過渡框架(2)通過多個連接梁(5)連接；

多個所述柔性彈簧(3)沿所述過渡框架(2)外側周向間隔設置，所述懸臂梁(4)的一端通過所述柔性彈簧(3)與所述過渡框架(2)動態連接，所述懸臂梁(4)的另一端與所述驅動部分連接；

所述驅動部分包括扭轉梁(101)、兩個固定錨點(102)和固定框架(103)，所述固定框架(103)環繞所述扭轉梁(101)和兩個固定錨點(102)設置，所述扭轉梁(101)與所述懸臂梁(4)連接，所述扭轉梁(101)的兩端分別與兩個所述固定錨點(102)通過彈性連接部件(104)連接；

所述懸臂梁(4)外側設置有動梳齒(105)，所述固定框架(103)內側對應所述動梳齒(105)設置有靜梳齒(106)。

2.根據權利要求1所述的一種微鏡，其特征在于：所述動梳齒(105)和所述靜梳齒(106)構成平面梳齒對或垂直梳齒對，所述平面梳齒對用于微鏡作諧振式掃描，所述垂直梳齒對用于微鏡作諧振式掃描或準靜態掃描。

3.一種微鏡，其特征在于：包括鏡面(1)、過渡框架(2)、多個柔性彈簧(3)、多個懸臂梁(4)和多個驅動部分，多個所述柔性彈簧(3)、懸臂梁(4)和驅動部分一一對應；所述微鏡外圍設置有所述過渡框架(2)，所述微鏡與所述過渡框架(2)通過多個連接梁(5)連接；

多個所述柔性彈簧(3)沿所述過渡框架(2)外側周向間隔設置，所述懸臂梁(4)的一端通過所述柔性彈簧(3)與所述過渡框架(2)動態連接，所述懸臂梁(4)的另一端與所述驅動部分連接；

所述驅動部分包括扭轉梁(201)、兩個固定錨點(202)和固定框架(203)，所述固定框架(203)與所述扭轉梁(201)相對設置，所述扭轉梁(201)與所述懸臂梁(4)連接，所述扭轉梁(201)兩端遠離鏡面(1)的一側分別與兩個固定錨點(202)通過彈性連接部件(204)相連；

所述扭轉梁(201)與所述固定框架(203)相對的一側設置有動梳齒(205)，所述固定框架(203)設置有與所述動梳齒(205)配合的靜梳齒(206)。

4.根據權利要求3所述的一種微鏡，其特征在于：所述扭轉梁(201)中間部位開設有刻蝕槽(207)，所述刻蝕槽(207)用于減小所述扭轉梁(201)的非均勻形變。

5.根據權利要求3所述的一種微鏡，其特征在于：所述彈性連接部件(204)包括第一連接桿(2041)、第二連接桿(2042)和多個橫桿(2043)，所述第一連接桿(2041)和第二連接桿(2042)平行且間隔設置，且所述第一連接桿(2041)和第二連接桿(2042)通過多個所述橫桿(2043)連接；所述第一連接桿(2041)與所述固定錨點(202)連接，所述第二連接桿(2042)與所述扭轉梁(201)連接。

6.一種微鏡，其特征在于：包括鏡面(1)、過渡框架(2)、多個柔性彈簧(3)、多個懸臂梁(4)和多個驅動部分，多個所述柔性彈簧(3)、懸臂梁(4)和驅動部分一一對應；所述微鏡外圍設置有所述過渡框架(2)，所述微鏡與所述過渡框架(2)通過多個連接梁(5)連接；

多個所述柔性彈簧(3)沿所述過渡框架(2)外側周向間隔設置，所述懸臂梁(4)的一端通過所述柔性彈簧(3)與所述過渡框架(2)動態連接，所述懸臂梁(4)的另一端與所述驅動部分連接；

所述驅動部分包括扭轉梁(301)、兩個固定錨點(302)和固定框架(303)，所述固定框架(303)環繞所述扭轉梁(301)設置，所述扭轉梁(301)與所述懸臂梁(4)連接，所述扭轉梁(301)兩端遠離鏡面(1)的一側分別與兩個固定錨點(302)通過彈性連接部件(304)相連；

所述懸臂梁(4)外側設置有動梳齒(305)，所述固定框架(303)內側對應所述動梳齒(305)設置有靜梳齒(306)。