[發明專利]一種用于晶圓清洗的超聲清洗裝置

有效

• 申請號: 201911256467.1
• 申請日: 2019-12-10
• 公開（公告）號: CN110976377B
• 公開（公告）日: 2022-08-19
• 發明（設計）人: 謝廣欽
• 申請（專利權）人: 愛闊特(上海)清洗設備制造有限公司
• 主分類號: B08B3/02
• 分類號: B08B3/02
• 代理公司: 上海宏京知識產權代理事務所(普通合伙) 31297
• 代理人: 喬建

1.一種用于晶圓清洗的超聲清洗裝置，包括清洗腔(1)、驅動結構(2)、移動臂(3)，其特征在于：所述驅動結構(2)的輸出端貫穿清洗腔(1)與旋轉臂(8)固定連接，所述旋轉臂(8)上偏心設置有移動臺(4)，所述旋轉臂(8)的一側固定安裝有位置感應器(7)，所述移動臂(3)安裝有水平移動的伺服結構(5)，所述伺服結構(5)的速度隨著接近移動臺(4)的中心勻速增加，所述伺服結構(5)的下端安裝有聲波能量呈線性照射的超聲發生結構(6)；

所述移動臺(4)與旋轉臂(8)活動連接，所述旋轉臂(8)上設有移動臺(4)移動的滑軌，所述旋轉臂(8)滑軌的起點為旋轉臂(8)的中心，所述旋轉臂(8)的滑軌的終點和起點設有電磁控制的鎖定結構；

所述移動臂(3)上設置有至少兩個伺服結構(5)的位置標記結構，所述伺服結構(5)的移動終點與移動臺(4)共線；

所述超聲發生結構(6)為三個并排設置的尖嘴形超聲噴頭，且中部噴頭的保持垂直，兩側噴頭下端朝中部傾斜，所述超聲發生結構(6)的中部超聲噴頭能量強度小于兩側的強度；

當所述伺服結構(5)移動到終點位置時，所述超聲發生結構(6)的照射線段最邊緣處恰好到達移動臺(4)的中心，且此時只開啟最接近中心的超聲發生結構(6)的噴頭，完成轉向后再開啟其他超聲發生結構(6)噴頭；

當所述伺服結構(5)移動到起始位置時，關閉所述超聲發生結構(6)，當晶圓邊緣空隙最大時，伺服結構(5)啟動轉向同時開啟超聲發生結構(6)；

將晶圓(9)安裝在移動臺(4)上，保證移動臺(4)和晶圓(9)的對中性，移動移動臺(4)到偏心位置，通過控制主機設置好參數，啟動位置感應器(7)、伺服結構(5)，伺服結構(5)檢測晶圓(9)邊緣空隙經過的時刻，控制主機計算晶圓(9)的運行狀態，并在晶圓(9)的邊緣空間最大的時候，控制伺服結構(5)開始移動，同時開啟超聲發生結構(6)，伺服結構(5)的移動速度和晶圓(9)的旋轉速度配合，使其一次可以完全覆蓋整個晶圓(9)的表面，對晶圓(9)表面進行清洗，當移動到移動臺(4)的中心位置時，超聲發生結構(6)關閉兩個遠離中心的超聲噴頭，同時伺服結構(5)開始轉向加速，伺服結構(5)轉向完成后開啟全部超聲噴頭，開始從中心向邊緣移動，多次重復，完成清洗過程。