[發(fā)明專利]一種硅片加工用均膠機(jī)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911256452.5
• 申請(qǐng)日: 2019-12-10
• 公開（公告）號(hào): CN110976202B
• 公開（公告）日: 2022-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王堯
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蕪湖佳豪電子有限公司
• 主分類號(hào): B05C5/00
• 分類號(hào): B05C5/00;B05C5/02;B05B15/52
• 代理公司: 深圳眾邦專利代理有限公司 44545
• 代理人: 肖琴

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，且公開了一種硅片加工用均膠機(jī)，包括機(jī)體、腔室、機(jī)架、膠槍，所述腔室安裝在機(jī)體的頂部，所述機(jī)架安裝在機(jī)體上，所述膠槍安裝在機(jī)架的底部，所述膠槍內(nèi)開設(shè)有注射腔，所述注射腔的兩側(cè)設(shè)置有速溶腔，所述速溶腔內(nèi)填充有融化液體，所述注射腔的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有活塞。活塞、螺桿與齒輪之間的配合，利用膠槍的流量差，控制融化液體的流出，從而融化膠槍內(nèi)部的潔凈，當(dāng)膠槍的底部出現(xiàn)微量潔凈時(shí)，膠槍的注入速度不變，受到潔凈的原因，光刻膠的流出速度變緩，液體逐漸蓄積，使得活塞能根據(jù)液體的容量，自動(dòng)做出相應(yīng)的位移，從而控制活塞向上移動(dòng)，在移動(dòng)過(guò)程中，使得齒輪做圓周運(yùn)動(dòng)，從而控制密封墊逐漸打開通孔。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體加工技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種硅片加工用均膠機(jī)。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體硅片在光刻前，需要用到均膠機(jī)，將膠層均勻涂覆在硅片上，保證硅片上膠層的厚度一致。

現(xiàn)有均膠機(jī)的工作原理為，將硅片放置在工作臺(tái)上，然后將光刻膠通過(guò)噴槍滴落在硅片上，合上頂蓋，再啟動(dòng)真空泵將腔室內(nèi)部的空氣抽出，然后再啟動(dòng)均膠機(jī)帶動(dòng)硅片旋轉(zhuǎn)，利用離心力將膠層均勻甩在硅片上，光刻膠成分包括樹脂、感光劑和溶劑三部分，其中的溶劑的作用為溶解固態(tài)的樹脂及感光劑，使光刻膠處于液態(tài)，以便于通過(guò)旋涂的方式涂布在晶圓表面，而溶劑在實(shí)際使用中易揮發(fā)，當(dāng)噴槍中剩余的光刻膠與空氣接觸后，光刻膠內(nèi)部的溶劑會(huì)迅速揮發(fā)，從而使光刻膠出現(xiàn)結(jié)晶化，導(dǎo)致膠槍的實(shí)際流量減小，光刻膠的輸出速度變慢，加劇光刻膠滴落至硅片上時(shí)間，嚴(yán)重時(shí)導(dǎo)致膠槍的槍口被堵塞，光刻膠無(wú)法流出，結(jié)晶化程度越來(lái)越嚴(yán)重，影響均膠機(jī)的后續(xù)使用，同時(shí)結(jié)晶后的光刻膠會(huì)影響勻膠工藝，產(chǎn)生各種勻膠缺陷，結(jié)晶后的光刻膠會(huì)破壞表面張力，造成光刻膠滴落，嚴(yán)重的可以造成膠管中所有光刻膠滴落，導(dǎo)致硅片表面的光刻膠出現(xiàn)厚度不均，表面不光滑的現(xiàn)象。

發(fā)明內(nèi)容

針對(duì)上述背景技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種硅片加工用均膠機(jī)，具備去除結(jié)晶化、管道暢通的優(yōu)點(diǎn)，解決了背景技術(shù)提出的問(wèn)題。

本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種硅片加工用均膠機(jī)，包括機(jī)體、腔室、機(jī)架、膠槍，所述腔室安裝在機(jī)體的頂部，所述機(jī)架安裝在機(jī)體上，所述膠槍安裝在機(jī)架的底部，所述膠槍內(nèi)開設(shè)有注射腔，所述注射腔的兩側(cè)設(shè)置有速溶腔，所述速溶腔內(nèi)填充有融化液體，所述注射腔的內(nèi)腔滑動(dòng)連接有活塞，所述活塞上固定連接有螺桿，所述螺桿的兩側(cè)嚙合有齒輪，所述齒輪的頂端與膠槍的腔壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述滑動(dòng)桿上安裝有密封墊，所述膠槍上開設(shè)有位于密封墊側(cè)面的通孔。

優(yōu)選的，所述膠槍的外壁連通有進(jìn)液管，所述膠槍的內(nèi)壁安裝有位于進(jìn)液管下方的漏液管，所述漏液管的底部連通有導(dǎo)流管，所述導(dǎo)流管的端部與速溶腔的頂部相連通。

優(yōu)選的，所述螺桿的頂部固定連接有支撐板，所述螺桿上安裝有位于支撐板下方的滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊的外壁與注射腔的內(nèi)壁滑動(dòng)連接，所述支撐板的兩側(cè)固定連接有密封塊，所述密封塊的寬度與長(zhǎng)度大于進(jìn)液管開口處的長(zhǎng)度與寬度，所述密封塊的頂部固定連接有彈簧，所述彈簧的頂端固定連接有支撐塊，所述滑動(dòng)桿的端部貫穿并延伸至支撐塊的外部，所述支撐塊與滑動(dòng)桿的相接處轉(zhuǎn)動(dòng)連接，所述支撐塊的底部固定連接有緩沖墊，所述緩沖墊的材質(zhì)為彈性橡膠。

優(yōu)選的，所述密封墊的形狀為矩形，所述密封墊初始狀態(tài)完全覆蓋通孔，所述密封墊的材質(zhì)為彈性橡膠。

優(yōu)選的，所述速溶腔側(cè)壁的外部安裝有保溫層，所述融化液體為丙酮液體，所述融化液體的溫度為30-40攝氏度。

本發(fā)明具備以下有益效果：