[發(fā)明專利]光學超晶格極化質(zhì)量測量方法及裝置有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911253977.3 | 申請日： | 2019-12-10 |
| 公開（公告）號： | CN110702641B | 公開（公告）日： | 2020-03-27 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 尹志軍;吳冰;倪榮萍;許志城 | 申請（專利權(quán)）人： | 南京南智先進光電集成技術(shù)研究院有限公司 |
| 主分類號： | G01N21/47 | 分類號： | G01N21/47 |
| 代理公司： | 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 11363 | 代理人： | 逯長明;許偉群 |
| 地址： | 210000 江蘇省南京市江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 光學 晶格 極化 質(zhì)量 測量方法 裝置 | ||
1.一種光學超晶格極化質(zhì)量測量方法，其特征在于，包括如下步驟：
用激光器發(fā)射一束激光照射超晶格樣品，獲得該束激光的多級衍射圖樣；
測量所述多級衍射圖樣的衍射光強，并獲得相應(yīng)的衍射級次；
基于所述衍射級次及該衍射級次對應(yīng)的衍射光強，得出所述超晶格樣品在照射位置的占空比；
基于所述占空比，得出反映所述照射位置的極化質(zhì)量的有效非線性系數(shù)；
所述用激光器發(fā)射一束激光照射超晶格樣品，獲得該束激光的多級衍射圖樣的步驟之前，包括：
采用正交偏振方式使得激光產(chǎn)生多級衍射圖樣；
所述采用正交偏振方式使得激光產(chǎn)生多級衍射圖樣的步驟，包括：
將所述超晶格樣品置于兩個偏振片之間，且該兩個偏振片的偏振方向正交，然后用激光照射偏振片和所述超晶格樣品。
2.一種光學超晶格極化質(zhì)量測量裝置，其特征在于，包括：
激光器，用于發(fā)射激光照射超晶格樣品，形成多級衍射光束；
第一偏振片，置于所述超晶格樣品的前側(cè)，以便激光器發(fā)射的激光先經(jīng)由所述第一偏振片偏振后射入所述超晶格樣品；
第二偏振片，置于所述超晶格樣品的后側(cè)，并且其偏振方向與所述第一偏振片的偏振方向正交；
探測器，用于接收經(jīng)由所述第二偏振片形成的多級衍射光束，并測量獲得多級衍射圖樣，獲得所述多級衍射圖樣的衍射光強，并獲得相應(yīng)的衍射級次；
第一處理模塊，用于基于所述衍射級次及該衍射級次對應(yīng)的衍射光強，得出所述超晶格樣品在照射位置的占空比；
第二處理模塊，用于基于所述占空比，得出反映所述照射位置的極化質(zhì)量的有效非線性系數(shù)。
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- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學手段，即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進行光學測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā)，因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學反應(yīng)的系統(tǒng)，測試反應(yīng)的進行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)
