[發(fā)明專利]一種薄壁件的裝夾結(jié)構(gòu)及薄壁件的裝夾方法和用途

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911253044.4
• 申請日: 2019-12-09
• 公開（公告）號: CN110774030A
• 公開（公告）日: 2020-02-11
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 姚力軍;潘杰;邊逸軍;王學澤;周建軍
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波江豐電子材料股份有限公司
• 主分類號: B23Q3/06
• 分類號: B23Q3/06
• 代理公司: 11659 北京遠智匯知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司
• 代理人: 王巖

1.一種薄壁件的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述裝夾結(jié)構(gòu)包括基臺和蓋板；

所述基臺包括底座和從底座中心向上凸起的凸臺；

所述蓋板設(shè)置于凸臺上；

所述裝夾結(jié)構(gòu)還包括貫穿蓋板伸入凸臺內(nèi)的固定裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述凸臺的圓柱邊比薄壁件的外徑小；

優(yōu)選地，所述凸臺的直徑比薄壁件的外徑小0.05～0.1mm；

優(yōu)選地，所述基臺的底座上設(shè)置有凹槽；

優(yōu)選地，所述凹槽設(shè)置在底座邊緣；

優(yōu)選地，所述凹槽的寬度為3～10mm，優(yōu)選為4～8mm；

優(yōu)選地，所述凹槽的深度為0.2～0.4mm，優(yōu)選為0.2～0.3mm；

優(yōu)選地，所述底座的厚度為10～20mm，優(yōu)選為14～16mm；

優(yōu)選地，所述基臺的材質(zhì)包括鋁合金或不銹鋼，優(yōu)選為鋁合金6061。

3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板的厚度為5～15mm，優(yōu)選為8～12mm；

優(yōu)選地，所述蓋板的直徑比薄壁件的內(nèi)徑大；

優(yōu)選地，所述蓋板的直徑比薄壁件的外徑小；

優(yōu)選地，所述蓋板的直徑比薄壁件的外徑小0.2～1mm，優(yōu)選為0.4～0.8mm；

優(yōu)選地，所述蓋板的材質(zhì)包括鋁合金或不銹鋼，優(yōu)選為鋁合金6061。

4.根據(jù)權(quán)利要求1～3任一項所述的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述蓋板上設(shè)置有貫穿于蓋板的蓋板孔；

優(yōu)選地，所述蓋板孔在蓋板表面呈等角度分布；

優(yōu)選地，所述蓋板孔的圓心到蓋板圓周的徑向距離為14～24mm，優(yōu)選為16～22mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述基臺的凸臺上表面設(shè)置有與蓋板孔相匹配的凸臺孔；

優(yōu)選地，所述凸臺孔在凸臺上表面呈等角度分布；

優(yōu)選地，所述凸臺孔的圓心到凸臺圓周的徑向距離為14～25mm，優(yōu)選為17～23mm。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的裝夾結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述固定裝置包括螺桿；

優(yōu)選地，所述螺桿的直徑為M6～M10，優(yōu)選為M8；

優(yōu)選地，所述螺桿貫穿于蓋板的蓋板孔并置于凸臺的凸臺孔內(nèi)部，固定基臺和蓋板。

7.一種薄壁件的裝夾方法，其特征在于，所述方法采用權(quán)利要求1～6任一項所述的薄壁件的裝夾結(jié)構(gòu)進行。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法包括：將薄壁件放于基臺上，再將蓋板蓋于薄壁件和基臺上，利用固定裝置將蓋板與基臺固定。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的方法，其特征在于，所述薄壁件為包括環(huán)形結(jié)構(gòu)的薄壁件；

優(yōu)選地，所述薄壁件包括圓筒結(jié)構(gòu)；

優(yōu)選地，所述薄壁件包括設(shè)置在圓筒結(jié)構(gòu)內(nèi)表面與圓筒結(jié)構(gòu)垂直的環(huán)形支耳；

優(yōu)選地，所述環(huán)形支耳設(shè)置在圓筒結(jié)構(gòu)軸向方向的正中間；

優(yōu)選地，所述環(huán)形支耳的環(huán)寬為5～10mm，優(yōu)選為6～8mm；

優(yōu)選地，所述薄壁件的厚度為3～4mm，優(yōu)選為3.2～3.8mm；

優(yōu)選地，所述薄壁件的材質(zhì)包括不銹鋼、鋁合金或鈦合金中的任意一種或至少兩種的組合。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其特征在于，所述方法包括將薄壁件的圓筒結(jié)構(gòu)設(shè)置在基臺底座的凹槽中；

優(yōu)選地，所述凸臺的圓柱邊與薄壁件的圓筒結(jié)構(gòu)內(nèi)表面之間留有0.05～0.1mm的間隙；

優(yōu)選地，將所述環(huán)形支耳置于凸臺與蓋板之間。

11.根據(jù)權(quán)利要求1～6任一項所述的薄壁件的裝夾結(jié)構(gòu)在半導體制備領(lǐng)域中的用途。