[發明專利]一種基于莫爾條紋的干涉相移靈敏度增強方法

有效

• 申請號: 201911237500.6
• 申請日: 2019-12-06
• 公開（公告）號: CN111006582B
• 公開（公告）日: 2021-09-07
• 發明（設計）人: 方亮;況銀麗;程欣;彭翔;張輝;劉恩海
• 申請（專利權）人: 中國科學院光電技術研究所
• 主分類號: G01B9/02
• 分類號: G01B9/02
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于莫爾條紋的干涉相移靈敏度增強方法，其特征在于：該方法包括：空間調制型干涉儀形成的干涉條紋光場(1)經偏振片(2)后入射至普通分光棱鏡(3)，其中一束光被普通分光棱鏡(3)反射后，經第一平面反射鏡(4)反射后沿原光路返回，再次經過普通分光棱鏡(3)后，透過偏振分光棱鏡(7)入射至陣列探測器(8)上，形成一組干涉條紋分布；另一束光從普通分光棱鏡(3)透射后，分別經第二平面反射鏡(5)和第三平面反射鏡(6)反射后入射至偏振分光棱鏡(7)，經偏振分光棱鏡(7)反射后入射至陣列探測器(8)上，形成另一組條紋取向相反的干涉條紋分布，調節第三平面反射鏡(6)，使陣列探測器(8)上的兩組干涉條紋之間存在夾角，形成莫爾條紋，當干涉條紋發生相移時，莫爾條紋將發生明顯的位移；

所述空間調制型干涉儀輸出干涉條紋光場(1)為空間分布的一維周期條紋；

所述偏振片(2)，用于使干涉條紋光場(1)起偏，且偏振方向與豎直方向成45°角，保證p偏振分量與s偏振分量光強相等；

所述普通分光棱鏡(3)，用于對干涉條紋光場進行分光，分光比為1：1，無偏振選擇特性；

所述第二平面反射鏡(5)和第三平面反射鏡(6)組合后，用于對普通分光棱鏡(3)透射光路的干涉條紋光場進行反射，并使這一組干涉條紋光場的取向發生倒轉；

所述偏振分光棱鏡(7)，有偏振選擇特性，p偏振與s偏振的分光比例為1：1，用于對第一平面反射鏡(4)和第三平面反射鏡(6)反射的兩組干涉條紋光場進行偏振選擇，使陣列探測器(8)上接收的兩組干涉條紋的偏振態相互垂直，相互之間不發生干涉，而是形成莫爾條紋；

沿光軸旋轉第三平面反射鏡(6)可以微調干涉條紋光場的取向，使探測器上兩組干涉條紋的取向夾角在160°～170°范圍；

當兩組干涉條紋取向夾角為θ，干涉條紋的移動量為a時，則形成莫爾條紋的移動量為