[發明專利]光罩容器

在審

• 申請號: 201911235658.X
• 申請日: 2019-12-05
• 公開（公告）號: CN111290215A
• 公開（公告）日: 2020-06-16
• 發明（設計）人: 邱銘乾;潘詠晉;洪智盛
• 申請（專利權）人: 家登精密工業股份有限公司
• 主分類號: G03F1/66
• 分類號: G03F1/66
• 代理公司: 深圳市舜立知識產權代理事務所(普通合伙) 44335
• 代理人: 侯藝

本發明公開一種光罩容器，該光罩容器主要由上蓋與下蓋構成。在該光罩容器的側緣設置有許多識別模塊，方便用戶快速得知光罩容器的使用情況或其編號。而在容器內，本發明的光罩容器更包括特殊設計的支撐件、固持件、鎖固模塊等結構。據此，本發明的光罩容器可以在維持密封環境的狀態下，滿足各種承載光罩所需要的結構和條件。

技術領域

本發明涉及光罩領域，尤其涉及一種具有多種不同可調整部位，進一步達到提高攜帶、運輸或傳送光罩便利性與安全性的光罩容器。

背景技術

在半導體產業中，光罩在制程上扮演非常重要的角色。無論是傳統的黃光微影或蝕刻等技術，甚至到近年來的極紫外光刻(Extreme ultraviolet lithography,EUVL)制程，皆無法脫離光罩的使用。

在眾多半導體的直接或間接相關產業中，涉及光電相關的產業也屬于相當重要的一塊。在制作大尺寸的面板時，其制程上所運用到的光罩尺寸也隨著面板的尺寸改變。在科技進步的前提之下，現有的面板產業所能制作的面板尺寸逐步增大，伴隨而來的是，其制程上所需要的光罩尺寸亦同步增大。

有別于制造處理器或芯片等半導體產業，面板產業所用的光罩因其尺寸可寬幅至800毫米比960毫米的故，并無法用傳統小型的光罩盒進行傳送或儲存；相對的必須使用專規的大尺寸光罩盒。

但在光罩盒中承載的光罩尺寸如此巨大的狀況下，伴隨的慣性運動也會越發嚴重。如此巨大尺寸的光罩在搬運或傳送的過程中，也更容易因為運送精度不足的問題，更容易產生搖晃、撞擊甚至造成整個光罩容器發生傾倒。進一步，導致大尺寸光罩的損壞。

而針對不同的運送和儲存條件，各家面板或半導體廠的運輸規格也不見得一致。舉例來說，有些廠區的運送過程容易產生左右的擺動；而有些廠區則是會有高低落差的移動，導致大尺寸光罩會有位移刮磨的現象發生。因此，各種廠區用途的光罩容器，其所需要的需求均不盡相同，以現有的技術來說，目前的光罩容器仍難以克服這一點。

發明內容

為了解決背景技術中所提及的問題，本發明提供了一種光罩容器。進一步來說，所述光罩容器主要包括多個組裝件、一上蓋以及一下蓋。該上蓋與該下蓋蓋合，形成一側緣。

其中，該上蓋包括一第一左蓋部以及一第一右蓋部，該第一左蓋部透過一第一左連接區與其中一個該組裝件連接固定；而該第一右蓋部透過一第二左連接區與該第一左蓋部連接的該組裝件連接固定。

同樣地，該下蓋包括一第二左蓋部及一第二右蓋部。該第二左蓋部透過一第二左連接區與另一個該組裝件連接固定；而該第二右蓋部透過一第二右連接區與該第二左蓋部連接的該組裝件連接固定。

其中，該側緣上更設有至少一識別監控模塊，且該上蓋及該下蓋的內面四角共構為一固持區域，該下蓋的內面周緣共構為一支撐區域。

以上對本發明的簡述，目的在于對本發明的數種面向和技術特征作一基本說明。發明簡述并非對本發明的詳細表述，因此其目的不在特別列舉本發明的關鍵性或重要組件，也不是用來界定本發明的范圍，僅為以簡明的方式呈現本發明的數種概念而已。

附圖說明

圖1是本發明實施例的外觀結構示意圖。

圖2是本發明實施例的上蓋組成結構示意圖。

圖3是本發明實施例的內部結構示意圖。

圖4是本發明實施例的下蓋結構拆解示意圖。

圖5是本發明實施例的固持區域與支撐區域示意圖。

圖6是本發明實施例的鎖固模塊結構示意圖。

圖7是本發明實施例的螺栓結構示意圖。

圖8是本發明實施例的固持件安裝示意圖。