[發(fā)明專利]AF膜漏鍍檢測裝置及方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911211140.2 | 申請日: | 2019-12-02 |
| 公開(公告)號: | CN110849913B | 公開(公告)日: | 2022-04-26 |
| 發(fā)明(設(shè)計)人: | 潘秀娟;姚毅;邢志廣;王福亮 | 申請(專利權(quán))人: | 凌云光技術(shù)股份有限公司 |
| 主分類號: | G01N21/958 | 分類號: | G01N21/958 |
| 代理公司: | 北京弘權(quán)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11363 | 代理人: | 逯長明;許偉群 |
| 地址: | 100094 北京市海淀*** | 國省代碼: | 北京;11 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | af 膜漏鍍 檢測 裝置 方法 | ||
1.一種AF膜漏鍍檢測裝置,其特征在于,所述檢測裝置包括蒸汽發(fā)生器(1)和缺陷采集組件(2),其中:所述蒸汽發(fā)生器(1)的頂部開設(shè)有蒸汽揮發(fā)口(11),鍍有AF膜的蓋板玻璃(3)的一面朝向所述蒸汽揮發(fā)口(11),所述蒸汽揮發(fā)口(11)的尺寸略小于所述蓋板玻璃(3)的尺寸,以使得所述蓋板玻璃(3)的邊緣處貼合于所述蒸汽揮發(fā)口(11)的邊緣處,所述蒸汽發(fā)生器(1)的側(cè)壁設(shè)有阻隔口(12),所述阻隔口(12)的長度等于設(shè)有所述阻隔口(12)的所述蒸汽發(fā)生器(1)側(cè)壁的長度;
所述阻隔口(12)內(nèi)設(shè)置有可抽拉的絕熱擋板(13),所述絕熱擋板(13)的面積大于所述蒸汽發(fā)生器(1)的水平截面面積;
當(dāng)蒸汽發(fā)生器(1)剛開始產(chǎn)生高溫蒸汽時,將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)伸入蒸汽發(fā)生器(1)中,由于絕熱擋板(13)的面積大于蒸汽發(fā)生器(1)的水平截面面積,絕熱擋板(13)對蒸汽發(fā)生器(1)內(nèi)部起到封閉作用,避免剛生成的高溫蒸汽通過蒸汽揮發(fā)口(11)散出,當(dāng)蒸汽發(fā)生器(1)中的蒸汽達(dá)到飽和時,將蓋板玻璃(3)貼合于蒸汽揮發(fā)口(11),將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)從蒸汽發(fā)生器(1)中抽出,蒸汽發(fā)生器(1)中的高溫蒸汽沿蒸汽揮發(fā)口(11)擴(kuò)散至蓋板玻璃(3)表面;在取走檢測完成的蓋板玻璃(3)之前,將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)伸入蒸汽發(fā)生器(1)中以使得蒸汽發(fā)生器(1)內(nèi)部封閉,從而阻擋高溫蒸汽的散出;
所述缺陷采集組件(2)包括相互連接的相機(jī)(21)和鏡頭(22),所述相機(jī)(21)芯片中心與所述蒸汽揮發(fā)口(11)中心對齊,所述相機(jī)(21)連接于處理器。
2.一種AF膜漏鍍檢測裝置,其特征在于,所述檢測裝置包括蒸汽發(fā)生器(1)和缺陷采集組件(2),其中:所述蒸汽發(fā)生器(1)的頂部開設(shè)有蒸汽揮發(fā)口(11),鍍有AF膜的蓋板玻璃(3)的一面朝向所述蒸汽揮發(fā)口(11);
所述蒸汽發(fā)生器(1)的側(cè)壁設(shè)有阻隔口(12),所述阻隔口(12)的長度等于設(shè)有所述阻隔口(12)的所述蒸汽發(fā)生器(1)側(cè)壁的長度;
所述阻隔口(12)內(nèi)設(shè)置有可抽拉的絕熱擋板(13),所述絕熱擋板(13)的面積大于所述蒸汽發(fā)生器(1)的水平截面面積;所述缺陷采集組件(2)包括相互連接的相機(jī)(21)和鏡頭(22),所述相機(jī)(21)芯片中心與所述蒸汽揮發(fā)口(11)中心對齊,所述相機(jī)(21)連接于處理器;
所述檢測裝置還包括:傳送組件(4),所述傳送組件(4)包括滑軌(41)和載臺(42),所述滑軌(41)搭設(shè)于所述蒸汽發(fā)生器(1)的頂部,所述載臺(42)沿所述滑軌(41)滑動;
與所述蒸汽揮發(fā)口(11)重合的所述滑軌(41)上設(shè)有蒸汽輸送口(411),所述載臺(42)上設(shè)有檢測口(421),所述蓋板玻璃(3)貼合于所述檢測口(421);
所述蒸汽揮發(fā)口(11)、所述蒸汽輸送口(411)以及所述檢測口(421)的大小相同,均略小于蓋板玻璃(3)的尺寸;
當(dāng)蒸汽發(fā)生器(1)剛開始產(chǎn)生高溫蒸汽時,將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)伸入蒸汽發(fā)生器(1)中,由于絕熱擋板(13)的面積大于蒸汽發(fā)生器(1)的水平截面面積,絕熱擋板(13)對蒸汽發(fā)生器(1)內(nèi)部起到封閉作用,避免剛生成的高溫蒸汽通過蒸汽揮發(fā)口(11)散出,當(dāng)蒸汽發(fā)生器(1)中的蒸汽達(dá)到飽和時,將蓋板玻璃(3)貼合于檢測口(421),將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)從蒸汽發(fā)生器(1)中抽出,蒸汽發(fā)生器(1)中的高溫蒸汽沿蒸汽揮發(fā)口(11)、蒸汽輸送口(411)以及檢測口(421)擴(kuò)散至蓋板玻璃(3)表面;在取走檢測完成的蓋板玻璃(3)之前,將絕熱擋板(13)通過阻隔口(12)伸入蒸汽發(fā)生器(1)中以使得蒸汽發(fā)生器(1)內(nèi)部封閉,從而阻擋高溫蒸汽的散出。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的AF膜漏鍍檢測裝置,其特征在于,所述傳送組件(4)還包括:送屏傳送帶(43)、取屏傳送帶(44)、送屏機(jī)械臂(45)及取屏機(jī)械臂(46);
所述送屏傳送帶(43)和所述取屏傳送帶(44)分別設(shè)于所述滑軌(41)的兩端;
所述送屏傳送帶(43)與所述滑軌(41)之間設(shè)有所述送屏機(jī)械臂(45),所述取屏傳送帶(44)與所述滑軌(41)之間設(shè)有所述取屏機(jī)械臂(46)。
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- 專利分類
G01N 借助于測定材料的化學(xué)或物理性質(zhì)來測試或分析材料
G01N21-00 利用光學(xué)手段,即利用紅外光、可見光或紫外光來測試或分析材料
G01N21-01 .便于進(jìn)行光學(xué)測試的裝置或儀器
G01N21-17 .入射光根據(jù)所測試的材料性質(zhì)而改變的系統(tǒng)
G01N21-62 .所測試的材料在其中被激發(fā),因之引起材料發(fā)光或入射光的波長發(fā)生變化的系統(tǒng)
G01N21-75 .材料在其中經(jīng)受化學(xué)反應(yīng)的系統(tǒng),測試反應(yīng)的進(jìn)行或結(jié)果
G01N21-84 .專用于特殊應(yīng)用的系統(tǒng)





