[發明專利]一種蝕刻與甩干一體式機臺以及甩干機構

在審

• 申請號: 201911196366.X
• 申請日: 2019-11-29
• 公開（公告）號: CN111312614A
• 公開（公告）日: 2020-06-19
• 發明（設計）人: 溫春蘭;吳海達
• 申請（專利權）人: 福建省福聯集成電路有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 福州市景弘專利代理事務所(普通合伙) 35219
• 代理人: 徐劍兵;張忠波

1.一種甩干機構，其特征在于，包括：動力機構、控制機構、導軌、固定架；

所述動力機構與所述控制機構相連接，用于提供動力；

所述固定架設置于所述所述控制機構一側，用于固定晶舟的位置，且所述固定架上還設置有用于容置晶舟的孔洞；所述導軌可伸縮設置于控制機構一側，并與所述固定架滑動連接，用于晶舟的放置。

2.根據權利要求1所述一種甩干機構，其特征在于，還包括：手臂桿，

所述手臂桿可伸縮、可旋轉的設置于所述控制機構上；且所述手臂桿遠離所述控制機構的一端上還設置有卡板，并用于固定晶舟。

3.根據權利要求2所述一種甩干機構，其特征在于，所述手臂桿還包括：軟膠片，所述軟膠片用于貼合、抓牢晶舟。

4.根據權利要求1所述一種甩干機構，其特征在于，所述導軌為兩根導軌桿，兩根導軌桿的間距為晶舟底部支撐部之間的間距，且所述導軌桿分別用于容置晶舟底部的兩個支撐部。

5.根據權利要求1所述一種甩干機構，其特征在于，還包括：第一傳感器；所述第一傳感器設置于所述一種甩干機構靠近固定架的一側，用于感應晶舟的位置信號，且當所述導軌伸出時，位于所述第一傳感器上方。

6.根據權利要求1所述一種甩干機構，其特征在于，還包括：第二傳感器；所述第二傳感器設置于所述導軌上，用于感應晶舟的位置信號。

7.根據權利要求5所述一種甩干機構，其特征在于，還包括：甩干機門；所述甩干機門可升降的設置在所述固定架上。

8.一種蝕刻與甩干一體式機臺，其特征在于，包括：權利要求1至7任意一項所述一種甩干機構、機臺手臂、化學反應槽；

所述化學反應槽設置于所述甩干機構的一側，所述機臺手臂設置于所述化學反應槽的一側，用于運送、抓取晶舟。

9.根據權利要求8所述一種蝕刻與甩干一體式機臺，其特征在于，還包括：載入端、輸出端、第一快門、第二快門；

所述載入端設置于化學反應槽遠離甩干機構的一側，所述輸出端設置于甩干機構遠離化學反應槽，且所述化學反應槽、載入端、輸出端位于同一水平線上；

所述第一快門設置于所述載入端與化學反應槽之間，用于分隔載入端與化學反應槽，所述第二快門設置于所述甩干機構與化學反應槽之間，用于分隔甩干機構與化學反應槽。

10.根據權利要求8所述一種蝕刻與甩干一體式機臺，其特征在于，還包括：控制器；所述控制器與所述一種蝕刻與甩干一體式機臺連接，所述控制器用于執行如下方法步驟：

驅動機臺手臂抓取晶舟至化學反應槽；

驅動機臺手臂抓取化學反應槽中制程完成后的晶舟移動至第一傳感器上方；

控制器接受到第一傳感器信號，驅動甩干機門開啟；

驅動導軌伸出，驅動機臺手臂將晶舟放置于導軌上；

控制器接受到第二傳感器信號，驅動手臂桿伸出，隨后驅動手臂桿旋轉；

驅動手臂桿和導軌一起伸進甩干機構內，并驅動甩干機門關閉；

驅動動力機構工作；

驅動手臂桿、導軌伸出，驅動機臺手臂抓取晶舟，移出甩干機構。