[發明專利]電子掃描方法以及電子掃描裝置

有效

• 申請號: 201911194381.0
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN110926333B
• 公開（公告）日: 2021-10-15
• 發明（設計）人: 孟鴻林;陳翰;張辰明;魏芳
• 申請（專利權）人: 上海華力集成電路制造有限公司
• 主分類號: G01B11/00
• 分類號: G01B11/00
• 代理公司: 上海浦一知識產權代理有限公司 31211
• 代理人: 黎偉

1.一種電子掃描方法，其特征在于，包括：

獲取多幀掃描圖像，所述多幀掃描圖像中的每一幀掃描圖像是從一個預定掃描方向對目標晶圓的一個預定區域進行電子掃描得到的局部掃描圖像，所述預定掃描方向包括沿所述目標晶圓的正向水平方向、與所述正向水平方向相反的沿所述目標晶圓的負向水平方向、沿所述目標晶圓的正向垂直方向、與所述正向垂直方向相反的沿所述目標晶圓的負向垂直方向以及沿所述目標晶圓傾斜方向，所述預定掃描方向是所述電子掃描的運動方向；

將所述正向水平方向的掃描圖像和所述負向水平方向的掃描圖像進行擬合，得到水平方向的掃描圖像；

將所述正向垂直方向的掃描圖像和所述負向垂直方向的掃描圖像進行擬合，得到垂直方向的掃描圖像；

將所述水平方向的掃描圖像、所述垂直方向的掃描圖像以及傾斜方向的掃描圖像合成為目標掃描圖像；

根據所述目標掃描圖像計算得到所述目標晶圓上的圖形的特征尺寸。

2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像進行擬合，得到水平方向的掃描圖像，包括：

獲取所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像的匹配點數量；

根據所述匹配點數量確定所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像的在所述目標掃描圖像中的排列順序；

根據所述排列順序對所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像進行排序，拼接得到所述水平方向的掃描圖像。

3.根據權利要求2所述的方法，其特征在于，所述獲取所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像的匹配點數量，包括：

通過FAST算法獲取所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像的高斯金字塔圖像的特征點對；

根據所述正向水平方向的掃描圖像和負向水平方向的掃描圖像的高斯金字塔圖像的特征點對確定所述匹配點數量。

4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于，將所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像進行擬合，得到垂直方向的掃描圖像，包括：

獲取所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像的匹配點數量；

根據所述匹配點數量確定所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像在目標掃描圖像中的排列順序；

根據所述排列順序對所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像進行排序，拼接得到所述垂直方向的掃描圖像。

5.根據權利要求4所述的方法，其特征在于，所述獲取所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像的匹配點數量，包括：

通過FAST算法獲取所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像的高斯金字塔圖像的特征點對；

根據所述正向垂直方向的掃描圖像和負向垂直方向的掃描圖像的高斯金字塔圖像的特征點對確定所述匹配點數量。

6.根據權利要求1至5任一所述的方法，其特征在于，所述根據所述目標掃描圖像計算得到所述目標晶圓上的圖形的特征尺寸之前，還包括：

當所述目標掃描圖像的亮度信息大于亮度閾值時，發送停止掃描指令。

7.根據權利要求6所述的方法，其特征在于，所述根據所述目標掃描圖像計算得到所述目標晶圓上的圖形的特征尺寸，包括：

從目標掃描圖像上識別得到所述圖形的邊緣；

根據所述圖形的邊緣計算得到所述特征尺寸。

8.根據權利要求1至5任一所述的方法，其特征在于，所述沿所述目標晶圓傾斜方向包括沿所述目標晶圓的45°方向。