[發明專利]一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀

在審

• 申請號: 201911191415.0
• 申請日: 2019-11-28
• 公開（公告）號: CN110887515A
• 公開（公告）日: 2020-03-17
• 發明（設計）人: 王東寧;張華;崔鑫磊
• 申請（專利權）人: 杭州光飛秒科技有限公司
• 主分類號: G01D5/353
• 分類號: G01D5/353
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀，包括寬帶光源，環形器，傳感頭，光譜分析儀，其連接方式為：環形器輸入端連接寬帶光源，環形器反饋端連接光譜分析儀，環形器輸出端連接傳感頭；其特征在于：所述的傳感頭，由飛秒激光在單模光纖纖芯內刻寫六條平行反射鏡形成的三組平行獨立、不同尺寸的法布里-珀羅腔組成。

2.根據權利要求1所述一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀，其特征在于：所述的并聯結構，使得在纖芯中傳播的入射光分別經過三組平行獨立、不同尺寸的法布里-珀羅腔產生干涉并反射回纖芯，形成單光纖并聯式法布里-珀羅干涉儀。

3.根據權利要求1所述的一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀，其特征為：所述的單模光纖的纖芯直徑和光纖直徑分別為8.2μm和125μm。

4.根據權利要求1所述的一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀，其特征為：所述的三組平行獨立、不同尺寸的法布里-珀羅腔長度分別為24μm、59μm、100μm。

5.根據權利要求1所述的一種基于光纖內平行反射鏡的并聯式法布里-珀羅干涉儀，其特征為：所述的反射鏡長度和寬度分別為2μm和1μm。