[發明專利]柔性電極支撐結構有效
| 申請號： | 201911188540.6 | 申請日： | 2019-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN110879111B | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 郜晨希;林琳;王迪;鄭旭;劉瑞琪;遠雁;李超波 | 申請（專利權）人： | 中國科學院微電子研究所 |
| 主分類號： | G01L1/14 | 分類號： | G01L1/14 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 11021 | 代理人： | 吳夢圓 |
| 地址： | 100029 *** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 柔性 電極 支撐 結構 | ||
【權利要求書】：
1.一種柔性電極支撐結構，其特征在于，該柔性電極支撐結構為圓環方波型結構，置于柔性電極外殼臺階處，用于支撐陶瓷定電極，并調節陶瓷定電極與金屬動電極之間的電容距離；
所述柔性電極支撐結構，其彈性系數是陶瓷定電極壓緊彈簧彈性系數5倍至10倍。
2.根據權利要求1所述的柔性電極支撐結構，其特征在于，所述柔性電極支撐結構由低膨脹合金圓環沖壓而成。
3.根據權利要求1所述的柔性電極支撐結構，其特征在于，所述柔性電極支撐結構采用鎳基合金材料制作而成。
4.根據權利要求1所述的柔性電極支撐結構，其特征在于，所述柔性電極支撐的彈性系數在2500N/mm至5000N/mm。
5.根據權利要求1所述的柔性電極支撐結構，其特征在于，所述柔性電極支撐結構的展旋比大于2：1。
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