[發(fā)明專利]柔性電極支撐結(jié)構(gòu)

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911188540.6
• 申請(qǐng)日: 2019-11-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN110879111B
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-27
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郜晨希;林琳;王迪;鄭旭;劉瑞琪;遠(yuǎn)雁;李超波
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 中國(guó)科學(xué)院微電子研究所
• 主分類號(hào): G01L1/14
• 分類號(hào): G01L1/14
• 代理公司: 中科專利商標(biāo)代理有限責(zé)任公司 11021
• 代理人: 吳夢(mèng)圓

1.一種柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，該柔性電極支撐結(jié)構(gòu)為圓環(huán)方波型結(jié)構(gòu)，置于柔性電極外殼臺(tái)階處，用于支撐陶瓷定電極，并調(diào)節(jié)陶瓷定電極與金屬動(dòng)電極之間的電容距離；

所述柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其彈性系數(shù)是陶瓷定電極壓緊彈簧彈性系數(shù)5倍至10倍。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性電極支撐結(jié)構(gòu)由低膨脹合金圓環(huán)沖壓而成。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性電極支撐結(jié)構(gòu)采用鎳基合金材料制作而成。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性電極支撐的彈性系數(shù)在2500N/mm至5000N/mm。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的柔性電極支撐結(jié)構(gòu)，其特征在于，所述柔性電極支撐結(jié)構(gòu)的展旋比大于2：1。