[發明專利]微機械構件的執行裝置，微機械構件以及用于制造微機械構件的方法

在審

• 申請號: 201911181056.0
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN111232912A
• 公開（公告）日: 2020-06-05
• 發明（設計）人: C.胡貝爾;C.謝林;C.D.克雷默;M.施米德;R.勒德爾;T.巴克
• 申請（專利權）人: 羅伯特·博世有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/02;B81C1/00;G01J3/26;G01B9/02;G02B5/08;G02B7/182
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 趙伯俊;王麗輝

1.用于微機械構件（2）的執行裝置（1），包括：

- 懸掛架（3）；

- 具有彈簧材料（FM）的多個彎曲梁（4），其中，所述彎曲梁（4）分別與所述懸掛架（3）機械連接并且橫向地從該懸掛架延伸出去；

- 多個致動裝置（4a），其中，所述致動裝置（4a）與所述彎曲梁（4）機械連接；

- 環形元件（5）或者框架元件，所述環形元件或者框架元件與所述彎曲梁（4）機械連接，并且與所述懸掛架（3）橫向地間隔開，并且具有比所述彎曲梁（4）小的可彎曲性；

- 多個彈簧元件（6），所述彈簧元件與所述環形元件（5）機械連接并且從在背離所述懸掛架（3）的側上從所述環形元件（5）橫向地延伸出去；以及

- 待移動的中央段（7），其中，所述彈簧元件（6）使所述中央段（7）與所述環形元件（5）機械連接。

2.根據權利要求1所述的執行裝置（1），其中，所述中央段（7）包括平面延伸部并且能夠借助于所述致動裝置（4a）通過所述彎曲梁（4）和所述彈簧元件（6）垂直于所述平面延伸部地移動或者旋轉。

3.根據權利要求1或者2所述的執行裝置（1），其中，所述彎曲梁（4）和所述彈簧元件（6）包括相同的彈簧材料（FM）。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的執行裝置（1），其中，所述環形元件（5）和所述中央段（7）包括相同的材料和加強層（8）。

5.根據權利要求4所述的執行裝置（1），其中，所述環形元件（5）和所述中央段（7）包括與所述彎曲梁（4）和所述彈簧元件（6）相同的彈簧材料（FM）。

6. 根據權利要求1至5中任一項所述的執行裝置（1），其中，所述致動元件（7）包括與所述彈簧元件（6）連接的張緊框架（7a）和內膜片（7b）。

7. 微機械構件（2），包括

- 根據權利要求1至6中任一項所述的執行裝置（1）；以及

- 第一基底（9），其中，所述懸掛架（3）緊固在所述第一基底（9）上，或者，所述第一基底（9）本身是懸掛架（3）并且橫向地環繞所述彎曲梁（3）。

8.根據權利要求7所述的微機械構件（2），其中，所述中央段（7）包括第一鏡裝置（SP1）。

9.根據權利要求8所述的微機械構件（2），所述微機械構件包括具有第二鏡裝置（SP2）的第二基底（10），其中，所述第二基底（10）布置在所述第一基底（10）上，并且，所述第一鏡裝置（SP1）與所述第二鏡裝置（SP2）對置地布置。

10.根據權利要求9所述的微機械構件（2），所述微機械構件成形為光譜儀裝置并且包括光敏探測裝置（11），所述光敏探測裝置在光發射方向（Lab）上布置在所述第一鏡裝置（SP1）和所述第二鏡裝置（SP2）之后。

11.用于制造微機械構件（2）的方法，包括以下步驟：

- 提供（S1）第一基底（9）；

- 在所述第一基底（9）上施加（S2）絕緣層（INS），并且，將所述絕緣層（INS）結構化（S2a）到用于彈簧槽（FG）和致動器槽（AG）的區域中，所述彈簧槽橫向地環繞中央段（7），所述致動器槽以一定的距離環繞所述彈簧槽（FG）并且環繞在彈簧槽（FG）和致動器槽（AG）之間的環形元件（5）或者框架元件；

- 在所述第一基底（9）上和所述絕緣層（INS）上施加（S3）彈簧材料（FM），以及，在所述中央段（7）上施加（S3）用于第一鏡裝置（SP1）的鏡材料；

- 將彈簧槽（FG）和致動器槽（AG）插入（S4）所述第一基底（9）中直至達到所述絕緣層（INS）；以及

- 移除（S5）在所述彈簧槽（FG）和所述致動器槽（AG）中的所述絕緣層（INS）。

12.根據權利要求11所述的方法，其中，在所述致動器槽（AG）上方的所述彈簧材料（FM）上施加壓電致動器層，并且，提供具有第二鏡裝置（SP2）的第二基底（10），并且，將所述第二基底（10）布置在所述第一基底（9）上方，使得所述第二鏡裝置（SP2）與所述第一鏡裝置（SP1）對置，以及提供底座基底（S），所述底座基底包括空腔，在所述空腔上方布置有所述第一基底（9）。