[發明專利]轉架及具有其的鍍膜設備

有效

• 申請號: 201911180983.0
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN110760810B
• 公開（公告）日: 2022-04-08
• 發明（設計）人: 吳洽;聶鵬;黃志云;阮利平
• 申請（專利權）人: 中山凱旋真空科技股份有限公司
• 主分類號: C23C14/50
• 分類號: C23C14/50
• 代理公司: 北京律智知識產權代理有限公司 11438
• 代理人: 李建忠;袁禮君

本公開涉及鍍膜技術領域，提出了一種轉架及具有其的鍍膜設備。轉架包括第一轉盤、第二轉盤、轉動桿、第一驅動組件以及第二驅動組件，第一轉盤與第二轉盤相對設置，且同步可轉動地設置；轉動桿穿設在第一轉盤與第二轉盤上，且相對于第一轉盤與第二轉盤可轉動地設置；第一驅動組件與第一轉盤驅動連接，以驅動第一轉盤、第二轉盤以及轉動桿繞第一軸線同步轉動；第二驅動組件與轉動桿驅動連接，以驅動轉動桿繞第二軸線轉動。通過轉動桿的公轉和自轉，以及第一轉盤和第二轉盤的轉動，可以適應不同產品在鍍膜過程中對轉動過程的要求，以此保證產品的鍍膜效果。

技術領域

本公開涉及鍍膜技術領域，尤其涉及一種轉架及具有其的鍍膜設備。

背景技術

轉架是PVD物理氣相沉積(真空鍍膜等)設備中必不可少的工作臺，用于懸掛工件、產品。

目前，轉架結構多是單純的實現主體轉動，即繞著單軸線轉動，但此結構并不能很好地適用于某些特殊的鍍膜產品，如360度周向均需鍍膜的產品，利用此類轉架可能會出現某些周向表面鍍膜效果較差的問題，從而需要進行二者鍍膜，整個鍍膜時間就會增加。

發明內容

本公開的一個主要目的在于克服上述現有技術的至少一種缺陷，提供一種轉架及具有其的鍍膜設備。

根據本發明的第一個方面，提供了一種轉架，包括：

第一轉盤；

第二轉盤，第一轉盤與第二轉盤相對設置，且同步可轉動地設置；

轉動桿，轉動桿穿設在第一轉盤與第二轉盤上，且相對于第一轉盤與第二轉盤可轉動地設置；

第一驅動組件，第一驅動組件與第一轉盤驅動連接，以驅動第一轉盤、第二轉盤以及轉動桿繞第一軸線同步轉動；

第二驅動組件，第二驅動組件與轉動桿驅動連接，以驅動轉動桿繞第二軸線轉動。

在本發明的一個實施例中，第一驅動組件包括第一驅動電機，第一驅動電機與第一轉盤驅動連接，第二驅動組件包括第二驅動電機，第二驅動電機與轉動桿驅動連接；

其中，第一驅動電機與第二驅動電機可獨立運行。

在本發明的一個實施例中，第二驅動組件還包括：

驅動齒輪，第二驅動電機與驅動齒輪驅動連接；

自轉齒輪，驅動齒輪與自轉齒輪相嚙合，自轉齒輪設置在轉動桿上。

在本發明的一個實施例中，自轉齒輪為多個，多個自轉齒輪沿驅動齒輪的周向方向間隔設置，轉動桿為多個，多個轉動桿與多個自轉齒輪一一相對應地設置。

在本發明的一個實施例中，第一轉盤、第二轉盤以及驅動齒輪的中心線與第一軸線均相重合；自轉齒輪的中心線與第二軸線相重合。

在本發明的一個實施例中，第一驅動組件還包括第一驅動軸，第一驅動電機與第一驅動軸的一端相連接，第一驅動軸的另一端與第一轉盤相連接，第二驅動組件還包括第二驅動軸，第二驅動電機與第二驅動軸的一端相連接，第二驅動軸的另一端與驅動齒輪相連接；

其中，當第一驅動電機運行時，轉動桿繞第一軸線轉動的同時，繞第二軸線轉動；當第二驅動電機運行時，轉動桿繞第二軸線轉動；當第一驅動電機與第二驅動電機同步運行時，轉動桿繞第一軸線轉動的同時，繞第二軸線轉動，或轉動桿繞第一軸線轉動。

在本發明的一個實施例中，第二驅動電機的轉速大于等于第一驅動電機的轉速，以在第一驅動電機與第二驅動電機同步運行，且轉速相等時，轉動桿繞第一軸線轉動；

或，在第一驅動電機與第二驅動電機同步運行，且第二驅動電機的轉速大于第一驅動電機的轉速時，轉動桿繞第一軸線轉動的同時，繞第二軸線轉動。

在本發明的一個實施例中，轉架還包括：