[發明專利]含氯尾氣氦氣提純系統

在審

• 申請號: 201911180830.6
• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN112850668A
• 公開（公告）日: 2021-05-28
• 發明（設計）人: 楊森;劉亭婷;沈一春;王亞軍;吳國其
• 申請（專利權）人: 中天科技精密材料有限公司;江蘇中天科技股份有限公司
• 主分類號: C01B23/00
• 分類號: C01B23/00;B01D53/04;B01D53/22;B01D53/26;B01D53/28
• 代理公司: 深圳市賽恩倍吉知識產權代理有限公司 44334
• 代理人: 陳海云;許春曉

1.一種含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：依次包括除氯干燥模塊、膜分離純化模塊、吸附純化模塊及回收供氣單元，其中每一模塊的出氣端依次連接有檢測裝置和多通閥；當檢測結果不符合預設指標時，含氯尾氣自每一模塊的出氣端經多通閥導入至當前模塊的進氣端以再次進行同級凈化；當檢測結果符合預設指標，含氯尾氣自每一模塊的出氣端經多通閥導入后一模塊的進氣端以進行下一級純化，直至通入回收供氣單元進入待使用階段。

2.根據權利要求1所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述除氯干燥模塊包括依次設置的除氯噴淋塔、干燥機和干式吸附塔，含氯尾氣先除氯，后干燥，并由干式吸附塔去除余氯。

3.根據權利要求2所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述干燥機內的除水填充物包括氧化硅和氧化鋁的組合物、活性氧化鋁和分子篩的組合、黏土干燥劑中的一種。

4.根據權利要求2所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述除氯干燥模塊的出氣端的檢測裝置包括氯氣濃度分析儀器，檢測指標為氣源中氯氣的去除率達98％以上。

5.根據權利要求1所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述膜分離純化模塊依次包括一級氣包、一級壓縮機、緩沖罐、過濾器、冷干機及膜分離純化裝置，除氯后的氣源經加壓、穩壓后過濾去除油、水及顆粒，并將氣體溫度降至膜分離純化裝置入口氣體條件。

6.根據權利要求5所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述膜分離純化裝置包括一級膜組和二級膜組，每級膜組設有純氣出口和不純氣出口；一級膜組純氣出口接入二級膜組，一級膜組不純氣出口接入一級氣包；二級膜組純氣出口接入吸附純化模塊，二級膜組不純氣排入大氣。

7.根據權利要求6所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述膜分離純化裝置包括一級膜組、二級膜組和三級膜組，每級膜組設有純氣出口和不純氣出口；一級膜組純氣出口接入三級膜組，一級膜組不純氣出口接入二級膜組；二級膜組純氣出口接入一級氣包，二級膜組不純氣排入大氣；三級膜組純氣出口接入吸附純化模塊，三級膜組不純氣出口接入一級氣包。

8.根據權利要求6或7所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：每一膜組的出口設有氦氣濃度分析儀器，當末級膜組的純氣被檢測出氦氣的濃度小于99％時，純氣重新通入一級氣包的進口；反之，接入吸附純化模塊。

9.根據權利要求1所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述吸附純化模塊包括依次設置的二級氣包、二級壓縮機、緩沖罐、過濾器、冷干機及吸附純化裝置；膜純化后的氣源經加壓、穩壓后過濾去除油、水及顆粒，并將氣體溫度降至零下180-196℃，通過吸附純化裝置對氮、氧、水、二氧化碳、氬進行吸附。

10.根據權利要求9所述的含氯尾氣氦氣提純系統，其特征在于：所述吸附純化裝置中填充有液氮或設有固氬罐；所述吸附純化模塊的出口設置有氦氣濃度分析儀器，當氦氣的濃度檢測結果小于99.999％時，氣源接入二級氣包以再次吸附純化，反之，接入回收供氣單元待用。