[發(fā)明專利]一種提高半導(dǎo)體放大器件直流參數(shù)測試速度和精度的方法

有效

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• 申請日: 2019-11-27
• 公開（公告）號: CN110850264B
• 公開（公告）日: 2021-08-06
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李淼;趙建穎;李嚴峰
• 申請（專利權(quán)）人: 北京博達微科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26
• 代理公司: 北京國林貿(mào)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11001
• 代理人: 李桂玲;杜國慶

1.一種提高半導(dǎo)體放大器件直流參數(shù)測試速度和精度的方法，半導(dǎo)體放大器件直流參數(shù)測試包括對放大器件施加負載阻抗Z₀形成控制閉環(huán)系統(tǒng)，確定控制閉環(huán)系統(tǒng)中的放大器閉環(huán)參數(shù)帶寬增益積GBW₀和零極點補償系數(shù)PZR₀，然后進行電壓多檔位轉(zhuǎn)換的直流電流參數(shù)測量，直至全部檔位測量完成，其特征在于，所述施加的負載阻抗Z₀以及GBW₀和PZR₀的確定方法是：

第一步：用放大器件最大偏置電壓作為初始測試電壓，選擇已知的多個不同負載樣本阻抗Z進行階躍信號測量，設(shè)置不同的放大器閉環(huán)參數(shù)帶寬增益積GBW和零極點補償系數(shù)PZR數(shù)值組，獲取每一個負載樣本阻抗Z對應(yīng)不同的GBW和PZR數(shù)值組的建立電壓的時間tx，并獲取每一個負載樣本阻抗Z建立電壓時間tx最小值t₀的GBW和PZR數(shù)值組，tx是最大偏置電壓百分比從低到高時所需的時間；

第二步：建立對應(yīng)每一個tx最小值t₀的負載樣本阻抗Z與GBW和PZR數(shù)值組的對應(yīng)表；

第三步：設(shè)置GBW上限值和PZR下限值，用最大偏置電壓針對所述的多個不同負載樣本阻抗Z進行階躍信號測量，建立GBW上限值和PZR下限值的不同tx和不同負載阻抗Z的關(guān)系圖表；

將第三步tx和不同負載阻抗Z的關(guān)系圖表中tx為最小值t₀對應(yīng)的負載樣本阻抗Z確定為所述施加的負載阻抗Z₀；

并由此，在第二步所述負載樣本阻抗Z與GBW和PZR數(shù)值組的對應(yīng)表中、將等于或最接近確定的所述施加的負載阻抗Z₀所對應(yīng)的GBW和PZR作為放大器閉環(huán)參數(shù)帶寬增益積GBW₀和零極點補償系數(shù)PZR₀。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法進一步包括：第三步中將所述tx和不同負載阻抗Z的關(guān)系圖表進一步擬合生成不同負載樣本阻抗Z對應(yīng)不同GBW和PZR數(shù)值組的關(guān)系曲線，通過關(guān)系曲線將等于確定的所述施加的負載阻抗Z₀所對應(yīng)的GBW和PZR作為放大器閉環(huán)參數(shù)帶寬增益積GBW₀和零極點補償系數(shù)PZR₀。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述多個不同負載樣本阻抗Z進行階躍信號測量，是多個負載樣本阻抗Z按照阻抗大小順序排列進行階躍信號測量。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述最大偏置電壓百分比從低到高是從最大偏置電壓10%到最大偏置電壓90%，即：tx是最大偏置電壓百分比從最大偏置電壓10%到最大偏置電壓90%時所需的時間。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述GBW上限值是1000，所述PZR下限值是1。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述不同GBW和PZR數(shù)值組分別是從大至小的GBW選擇值和從小至大的PZR選擇值的數(shù)值組。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其特征在于，所述進行電壓多檔位轉(zhuǎn)換的直流電流參數(shù)測量，直至全部檔位測量完成，其中的直流電流參數(shù)測量是微電流參數(shù)測量，是通過從大到小多個量程的轉(zhuǎn)換測量確定，具體的測量的過程是：電流量程從大到小逐一換擋記錄被測電流，每一次的電流換擋測量對應(yīng)全部的電壓換擋測量。