[發明專利]一種支持多路電連接TSV通孔有效
| 申請號： | 201911177540.6 | 申請日： | 2019-11-27 |
| 公開（公告）號： | CN110867431B | 公開（公告）日： | 2021-04-02 |
| 發明（設計）人： | 單光寶;李國良;盧啟軍;朱樟明;劉陽;楊銀堂 | 申請（專利權）人： | 西安電子科技大學 |
| 主分類號： | H01L23/538 | 分類號： | H01L23/538;H01L23/367 |
| 代理公司： | 重慶萃智邦成專利代理事務所(普通合伙) 50231 | 代理人： | 舒夢來 |
| 地址： | 710071*** | 國省代碼： | 陜西;61 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 支持 多路電 連接 tsv 通孔 | ||
【權利要求書】：
1.一種支持多路電連接TSV通孔，包括基板(1)，其特征在于：所述基板(1)上設置有圓環形的通孔(2)，所述通孔(2)的內部設置有絕緣隔離板(5)，將通孔(2)隔離為第一腔室(3)、第二腔室(4)；
所述圓環形的通孔(2)的外圍設置有環形凹槽(6)，所述絕緣隔離板(5)延伸至環形凹槽(6)內，將環形凹槽(6)隔離位與第一腔室(3)、第二腔室(4)對應的槽段；
所述絕緣隔離板(5)的高度高于基板(1)的高度。
2.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述第一腔室(3)和第二腔室(4)的弧度均為30°～180°。
3.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述第一腔室(3)或第二腔室(4)的弧度均為90°。
4.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述絕緣隔離板(5)設置有多個。
5.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述絕緣隔離板(5)設置有4個。
6.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述第一腔室(3)、第二腔室(4)的兩端均為圓弧面。
7.如權利要求1所述的一種支持多路電連接TSV通孔，其特征在于：所述通孔(2)的形狀為U形或者L形。
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