[發明專利]具有每孔多個傳感器的化學傳感器陣列

在審

• 申請號: 201911172624.0
• 申請日: 2014-06-04
• 公開（公告）號: CN110873750A
• 公開（公告）日: 2020-03-10
• 發明（設計）人: J.羅斯伯格;K.菲費;J.布斯蒂洛;J.奧文斯
• 申請（專利權）人: 生命科技公司
• 主分類號: G01N27/414
• 分類號: G01N27/414
• 代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 72001
• 代理人: 徐紅燕;申屠偉進

1.一種裝置，其包括：

界定反應區的材料；

多個化學敏感場效應晶體管，所述化學敏感場效應晶體管具有與所述反應區連通的共同浮動柵極；以及

電路，所述電路用以從所述化學敏感場效應晶體管獲得指示所述反應區內的分析物的個別輸出信號。

2.根據權利要求1所述的裝置，其中所述化學敏感場效應晶體管包含經由傳導元件耦合到彼此的各個浮動柵極結構。

3.根據權利要求2所述的裝置，其中所述各個浮動柵極結構包含電耦合到彼此且由介電層分離的多個導體，并且所述傳導元件是在所述各個浮動柵極結構的所述多個導體中最上部的導體。

4.根據權利要求1所述的裝置，其中所述共同浮動柵極的最上部傳導元件的寬度小于所述反應區的底表面的寬度。

5.根據權利要求1所述的裝置，其中所述反應區的底表面包含所述共同浮動柵極的傳導元件的上表面。

6.根據權利要求5所述的裝置，其中所述傳導元件包括導電材料，并且所述傳導元件的所述上表面包含所述導電材料的氧化物。

7.根據權利要求1所述的裝置，其中所述化學敏感場效應晶體管的各個感測表面由所述共同浮動柵極的一個或多個傳導元件界定。

8.根據權利要求7所述的裝置，其中所述感測表面對離子敏感。

9.根據權利要求1所述的裝置，其中所述電路經由多條線耦合到所述多個化學敏感場效應晶體管，并且從所述多條線中的多條線獲得所述輸出信號。

10.根據權利要求1所述的裝置，其中所述分析物歸因于在所述反應區內發生的化學反應。

11.根據權利要求1所述的裝置，其中所述多個化學敏感場效應晶體管包含至少四個化學敏感場效應晶體管。

12.根據權利要求1所述的裝置，其中所述個別輸出信號是基于所述各個化學敏感場效應晶體管的閾值電壓。

13.根據權利要求1所述的裝置，其進一步包括與所述反應區流體流動連通的微流體結構。

14.一種用于制造裝置的方法，所述方法包括：

形成界定反應區的材料；

形成具有與所述反應區連通的共同浮動柵極的多個化學敏感場效應晶體管；以及

形成用以從所述化學敏感場效應晶體管獲得指示所述反應區內的分析物的個別輸出信號的電路。

15.根據權利要求14所述的方法，其中形成所述多個化學敏感場效應晶體管包括：

形成所述化學敏感場效應晶體管的各個浮動柵極結構；以及

形成將所述各個浮動柵極結構電耦合到彼此的傳導元件。

16.根據權利要求15所述的方法，其中所述各個浮動柵極結構包含電耦合到彼此且由介電層分離的多個導體，并且所述傳導元件是在所述各個浮動柵極結構的所述多個導體中最上部的導體。

17.根據權利要求14所述的方法，其中所述共同浮動柵極的最上部傳導元件的寬度小于所述反應區的底表面的寬度。

18.根據權利要求14所述的方法，其中所述反應區的底表面包含所述共同浮動柵極的傳導元件的上表面。

19.根據權利要求18所述的方法，其中所述傳導元件包括導電材料，并且所述傳導元件的所述上表面包含所述導電材料的氧化物。