[發(fā)明專利]適用于半導(dǎo)體制造設(shè)備的表面復(fù)原裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 201911171919.6
• 申請(qǐng)日: 2019-11-26
• 公開（公告）號(hào): CN112718706A
• 公開（公告）日: 2021-04-30
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄭進(jìn)男
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 雷立光國(guó)際股份有限公司
• 主分類號(hào): B08B7/00
• 分類號(hào): B08B7/00
• 代理公司: 北京北新智誠(chéng)知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11100
• 代理人: 朱麗華

1.一種表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述表面復(fù)原裝置包括：

一平臺(tái)，用于承載一物件，所述物件屬于一種半導(dǎo)體設(shè)備的部件，于所述物件的一表面上附著有附著物；

一發(fā)射器，發(fā)出一復(fù)原光束用于打在所述附著物上；

一驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)所述平臺(tái)與所述發(fā)射器的兩者或一者，以使所述物件與所述發(fā)射器產(chǎn)生相對(duì)運(yùn)動(dòng)，使得所述復(fù)原光束掃描所述附著物并將所述附著物移離所述物件，以復(fù)原所述物件的所述表面；以及

一控制器，電連接至所述發(fā)射器及所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，并控制所述復(fù)原光束的工作參數(shù)及所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述物件的材料包括石墨材料。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述復(fù)原光束具有一中間區(qū)段及一周邊區(qū)段，所述中間區(qū)段具有截頭的強(qiáng)度分布，所述周邊區(qū)段位于所述中間區(qū)段的周邊，并且具有向外遞減的強(qiáng)度分布，所述中間區(qū)段的一部分或全部打在所述附著物上，所述中間區(qū)段的復(fù)原光束強(qiáng)度大致上低于破壞所述物件的臨界損壞強(qiáng)度，而高于剝離所述附著物的臨界剝離強(qiáng)度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述復(fù)原光束包括一高頻區(qū)段及一低頻區(qū)段，所述高頻區(qū)段的頻率高于所述低頻區(qū)段的頻率，且所述高頻區(qū)段的功率低于所述低頻區(qū)段的功率。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述表面復(fù)原裝置還包括一攝影機(jī)，電連接至所述控制器，所述攝影機(jī)拍攝所述物件而產(chǎn)生一圖像信號(hào)，所述控制器依據(jù)所述圖像信號(hào)控制所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述控制器更依據(jù)所述圖像信號(hào)控制所述復(fù)原光束的所述工作參數(shù)的一部分或全部。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述表面復(fù)原裝置還包括一數(shù)據(jù)庫(kù)，電連接至所述控制器，所述控制器依據(jù)所述圖像信號(hào)及對(duì)應(yīng)于所述圖像信號(hào)的所述數(shù)據(jù)庫(kù)中的物件數(shù)據(jù)來控制所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述控制器依據(jù)一使用者輸入所述物件的坐標(biāo)位置及種類，決定所述工作參數(shù)及所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以控制所述發(fā)射器對(duì)所述物件進(jìn)行表面復(fù)原。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述表面復(fù)原裝置還包括一數(shù)據(jù)庫(kù)，電連接至所述控制器，所述控制器依據(jù)所述數(shù)據(jù)庫(kù)的物件數(shù)據(jù)決定所述工作參數(shù)及所述相對(duì)運(yùn)動(dòng)，以控制所述發(fā)射器對(duì)所述物件進(jìn)行表面復(fù)原。

10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的表面復(fù)原裝置，其特征在于，所述發(fā)射器具有一發(fā)射頭及一控制模塊，所述控制模塊電連接至所述發(fā)射頭，并控制所述發(fā)射頭的運(yùn)作。