[發明專利]一種高效二極管制備酸洗裝置

有效

• 申請號: 201911166069.0
• 申請日: 2019-11-25
• 公開（公告）號: CN111048446B
• 公開（公告）日: 2022-09-30
• 發明（設計）人: 孫慰
• 申請（專利權）人: 東臺市高科技術創業園有限公司
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67
• 代理公司: 合肥左心專利代理事務所(普通合伙) 34152
• 代理人: 姜玲玲

1.一種高效二極管制備酸洗裝置，包括外箱體（1）、滑行平臺（12）、進液管（13）、進水口（17）、出水口（18）和酸液排出口（20），所述外箱體（1）的背面與滑行平臺（12）的正面固定連接，所述進液管（13）固定安裝在外箱體（1）與振動箱體（2）的右上角處，所述酸液排出口（20）開設在振動箱體（2）的右下角，所述進水口（17）位于外箱體（1）底部的左側，所述出水口（18）位于外箱體（1）底部的右側，其特征在于：所述外箱體（1）內腔的頂部固定安裝有振動箱體（2），且兩者具有相同的圓心，所述外箱體（1）的頂部活動套接有密封蓋（3），所述密封蓋（3）的底面固定連有酸洗固定架（4），所述振動箱體（2）的左側外壁上固定連接有振動器（5），且穿過外箱體（1）并與外箱體（1）的外側固定連接，所述酸洗固定架（4）的底部固定卡接有酸洗盤（6），所述密封蓋（3）上表面的正中心固定連接有提升桿（7），且提升桿（7）為L型，所述提升桿（7）的一端固定連接有氣動伸縮桿（9），所述滑行平臺（12）上活動卡接有滑行板（10），所述滑行板（10）的上表面與氣動伸縮桿（9）的底面固定連接，所述滑行板（10）的上表面且位于氣動伸縮桿（9）的右側固定安裝有固定面板（8），所述固定面板（8）上開設有條形槽，且提升桿（7）從條形槽中穿過，所述滑行平臺（12）上且位于滑行板（10）的正下方活動套接有絲杠（11），所述滑行板（10）的底部開設有螺紋孔且與絲杠（11）螺紋連接，所述絲杠（11）的左端固定連接有伺服電機（21），所述進液管（13）的頂端固定連接有酸液儲存罐（14），所述進液管（13）上固定安裝有耐腐蝕排液閥（15），所述進液管（13）上且位于酸液儲存罐（14）和耐腐蝕排液閥（15）之間固定套裝有加熱管（19），所述振動箱體（2）內腔的底部固定安裝有冷卻水管（16）；

所述酸洗固定架（4）包括四方架（41）和平行卡槽（42），所述四方架（41）由四根豎直桿和八根平行桿組成，所述平行卡槽（42）均勻固定安裝在四方架（41）的兩側上，且兩兩之間間距相等，所述酸洗盤（6）包括盤體（61）和卡栓（62），所述盤體（61）四周壁上的上半部分及底面開設有均勻通孔，所述盤體（61）的正面與背面固定安裝有把手，所述盤體（61）正面的兩側開設有L型槽，所述L型槽中活動卡接有卡栓（62），所述酸洗固定架（4）正面兩根豎直桿上開設有均勻的卡孔，且可與卡栓（62）相配合。

2.根據權利要求1所述的一種高效二極管制備酸洗裝置，其特征在于：所述冷卻水管（16）可分為兩個部分，其一位于振動箱體（2）中為硬質螺旋水管，其二與外界連通為軟質水管，并且兩者在外箱體（1）與振動箱體（2）之間連接。

3.根據權利要求1所述的一種高效二極管制備酸洗裝置，其特征在于：所述進液管（13）與水平面呈45度角，所述出水口（18）與加熱管（19）的底端固定連接。

4.根據權利要求1所述的一種高效二極管制備酸洗裝置，其特征在于：所述固定面板（8）上的條形槽最低處與提升桿（7）所需要到達的最低高度相同，且其寬度與提升桿（7）的直徑相同。