[發明專利]雙極晶體管

有效

• 申請號: 201911147141.5
• 申請日: 2019-11-21
• 公開（公告）號: CN111384161B
• 公開（公告）日: 2023-04-14
• 發明（設計）人: 高橋新之助
• 申請（專利權）人: 株式會社村田制作所
• 主分類號: H01L29/737
• 分類號: H01L29/737;H01L29/08;H01L29/10
• 代理公司: 北京集佳知識產權代理有限公司 11227
• 代理人: 金雪梅;王海奇

1.一種雙極晶體管，具有：

臺面形狀的基極臺面，被配置在基板上，包括成為集電極以及基極的半導體層；

臺面形狀的發射極臺面，被配置在所述基極臺面上，在俯視時，劃分出作為發射極進行動作的發射極區域；

基極電極，被配置為在俯視時不與所述發射極臺面重疊，并與所述基極歐姆連接；

絕緣膜，覆蓋所述基極電極，設置有在俯視時被配置在所述基極電極的內側的至少一個基極開口；以及

基極布線，被配置在所述絕緣膜上，經過所述基極開口與所述基極電極連接，

所述發射極臺面包括具有在一個方向上較長的平面形狀的多個發射極指，所述發射極指以長邊方向相互平行的姿勢排列配置在與所述長邊方向正交的寬度方向上，

所述發射極指包括至少一個第一發射極指和至少一個第二發射極指，

所述基極電極包括：第一基極電極部，被配置在所述第一發射極指與所述第二發射極指之間，沿所述長邊方向較長；以及第二基極電極部，從所述第一發射極指的一個端部在所述長邊方向上拉開間隔地配置，

在俯視時，所述基極開口從所述第一發射極指的一個端部在所述長邊方向上拉開間隔地配置，而未配置于使所述第二發射極指在所述長邊方向上延長的區域，

所述第二發射極指的所述基極開口側的端部比所述第一發射極指的所述基極開口側的端部更向所述長邊方向突出。

2.根據權利要求1所述的雙極晶體管，其中，

所述第二發射極指的所述基極開口側的端部若在所述寬度方向上平行移動則在所述長邊方向上延長到與所述基極開口重疊的位置。

3.根據權利要求1或2所述的雙極晶體管，其中，

配置有兩個所述第一發射極指，所述第二發射極指被配置在兩個所述第一發射極指之間，

所述第一基極電極部分別被配置在所述第一發射極指各自的所述寬度方向的兩側，

被配置在所述第一發射極指各自的所述寬度方向的兩側的所述第一基極電極部經由所述第二基極電極部相互連接，

從兩個所述第一發射極指的所述基極開口側的端部在所述長邊方向上拉開間隔地分別配置所述基極開口，

在使所述第二發射極指與所述長邊方向平行地延長到所述基極開口側的區域，未配置有所述基極電極。

4.根據權利要求3所述的雙極晶體管，其中，

所述發射極臺面包括在與所述基極開口側相反一側的端部使所述發射極指相互連接的發射極連接部。

5.根據權利要求4所述的雙極晶體管，其中，

所述發射極臺面包括從所述第一發射極指的與所述基極開口側相反一側的端部向所述寬度方向突出的發射極突出部，所述發射極突出部在所述寬度方向上突出到配置了所述第一基極電極部的位置。

6.根據權利要求4所述的雙極晶體管，其中，

所述基極電極包括第三基極電極部，所述第三基極電極部使在所述寬度方向上比所述第一發射極指更靠外側配置的所述第一基極電極部的與所述基極開口側相反一側的端部彼此連接。

7.根據權利要求3所述的雙極晶體管，其中，

所述基極電極包括使分別配置在所述第二發射極指的所述寬度方向的兩側的所述第一基極電極部相互連接的第四基極電極部，

所述第四基極電極部從所述第二發射極指的與所述基極開口側相反一側的端部在所述長邊方向上拉開間隔地配置，

所述第一發射極指的與所述基極開口側相反一側的端部比配置所述第四基極電極部的位置更向所述長邊方向延伸，

所述發射極臺面在從所述基極開口觀察時在所述長邊方向上比所述第四基極電極部更遠的位置包括將所述第一發射極指相互連接的發射極連接部。

8.根據權利要求1或2所述的雙極晶體管，其中，

所述基極電極具有梳齒狀的平面形狀，所述第一基極電極部相當于梳齒，所述第二基極電極部相當于連結梳齒的連結部，

多個所述發射極指被配置在所述第一基極電極部之間，

多個所述發射極指中的至少一個發射極指是所述第一發射極指，剩余的發射極指是所述第二發射極指。