[發明專利]調整芯片吸盤與基板吸盤平行度的準直光路結構

在審

• 申請號: 201911144661.0
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110854054A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發明（設計）人: 王雁;閆瑛;狄希遠;董永謙;景灝;呂琴紅;孫麗娜;斯迎軍;高峰
• 申請（專利權）人: 西北電子裝備技術研究所（中國電子科技集團公司第二研究所）
• 主分類號: H01L21/68
• 分類號: H01L21/68;H01L21/67
• 代理公司: 山西華炬律師事務所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種調整芯片吸盤與基板吸盤平行度的準直光路結構，包括光學系統操作箱（20）、帶反射鏡面的芯片吸盤（14）和帶反射鏡面的基板吸盤（2），其特征在于，在光學系統操作箱（20）中設置有紅色LED點光源（23），在紅色LED點光源（23）的右側設置有第一半透半反反射鏡（24），在第一半透半反反射鏡（24）右側設置有第一準直物鏡（25），在第一準直物鏡（25）右側設置有靶標圖像生成板（26），在靶標圖像生成板（26）右側設置有與水平面成45°角的第一反射鏡（27），在第一反射鏡（27）的正下方設置有第二半透半反反射鏡（28），在第二半透半反反射鏡（28）的右側設置有與水平面成135°角的第二反射鏡（29），在第二反射鏡（29）正上方設置有第一濾光片（30），在第一濾光片（30）的正上方設置有帶反射鏡面的芯片吸盤（14），在第二半透半反反射鏡（28）的左側設置有與水平面成135°角的第三反射鏡（31），在第三反射鏡（31）的正下方設置有與水平面成135°角的第四反射鏡（32），在第四反射鏡（32）的左側設置有第二準直物鏡（33），在第二準直物鏡（33）的左側設置有準直成像相機（34）；在第一半透半反反射鏡（24）正下方設置有藍色LED點光源（35），在第二半透半反反射鏡（28）正下放設置有與水平面成45°角的第五反射鏡（36），在第五反射鏡（36）的右側設置有與水平面成45°角的第六反射鏡（37），在第六反射鏡（37）的正下方設置有第二濾光片（38），在第二濾光片（38）正下方設置有帶反射鏡面的基板吸盤（2）。

2.如權利要求1所述的一種調整芯片吸盤與基板吸盤平行度的準直光路結構，其特征在于，在準直成像相機（34）中分別生成有靶標圖像經帶反射鏡面的芯片吸盤（14）反射后的靶標生成圖像A和靶標圖像經帶反射鏡面的基板吸盤（2）反射后的靶標生成圖像B。