[發(fā)明專利]利用準(zhǔn)直光路調(diào)整芯片吸盤與基板吸盤平行度的方法

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 201911144660.6
• 申請日: 2019-11-20
• 公開（公告）號: CN110854045A
• 公開（公告）日: 2020-02-28
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 景灝;董永謙;閆瑛;王雁;狄希遠(yuǎn);呂琴紅;孫麗娜;斯迎軍;高峰
• 申請（專利權(quán)）人: 西北電子裝備技術(shù)研究所（中國電子科技集團(tuán)公司第二研究所）
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;H01L21/68;H01L21/603
• 代理公司: 山西華炬律師事務(wù)所 14106
• 代理人: 陳奇

1.一種利用準(zhǔn)直光路調(diào)整芯片吸盤與基板吸盤平行度的方法，其特征在于以下步驟：

紅色LED點(diǎn)光源（23）發(fā)出的紅色光線依次經(jīng)過第一半透半反反射鏡（24）透射、第一準(zhǔn)直物鏡（25）透射后，在靶標(biāo)圖像生成板（26）上形成有靶標(biāo)圖像紅色光線，所形成的靶標(biāo)圖像紅色光線依次經(jīng)過第一反射鏡（27）反射、第二半透半反反射鏡（28）反射、第二反射鏡（29）反射，并經(jīng)第一濾光片（30）濾光后，照射到帶反射鏡面的芯片吸盤（14）的反射鏡面上，經(jīng)反射鏡面反射后，依次通過第一濾光片（30）濾光、第二反射鏡（29）反射、第二半透半反反射鏡（28）透射、第三反射鏡（31）反射、第四反射鏡（32）反射和第二準(zhǔn)直物鏡（33）透射后在準(zhǔn)直成像相機(jī)（34）中生成有靶標(biāo)圖像經(jīng)帶反射鏡面的芯片吸盤（14）反射后的靶標(biāo)生成圖像A；

藍(lán)色LED點(diǎn)光源（35）發(fā)出的藍(lán)色光線依次經(jīng)過第一半透半反反射鏡（24）反射、第一準(zhǔn)直物鏡（25）透射后，在靶標(biāo)圖像生成板（26）上形成靶標(biāo)圖像藍(lán)色光線，所形成的靶標(biāo)圖像藍(lán)色光線依次經(jīng)第一反射鏡（27）反射、第二半透半反反射鏡（28）透射、第五反射鏡（36）反射、第六反射鏡（37）反射，并經(jīng)第二濾光片（38）濾光后，照射到帶反射鏡面的基板吸盤（2）的反射鏡面上，經(jīng)基板吸盤（2）的反射鏡面反射后，依次通過第二濾光片（38）濾光、第六反射鏡（37）反射、第五反射鏡（36）反射、第二半透半反反射鏡（28）反射、第三反射鏡（31）反射、第四反射鏡（32）反射和第二準(zhǔn)直物鏡（33）透射后，在準(zhǔn)直成像相機(jī)（34）中生成靶標(biāo)圖像經(jīng)帶反射鏡面的基板吸盤（2）反射后的靶標(biāo)生成圖像B；

靶標(biāo)生成圖像A與靶標(biāo)生成圖像B若不重合，調(diào)整俯仰偏擺調(diào)整平臺（12），改變帶反射鏡面的芯片吸盤（14）的姿態(tài)，直至靶標(biāo)圖像經(jīng)帶反射鏡面的芯片吸盤（14）反射后的靶標(biāo)生成圖像A與靶標(biāo)圖像經(jīng)帶反射鏡面的基板吸盤（2）反射后的靶標(biāo)生成圖像B重合，完成芯片吸盤與基板吸盤平行度的調(diào)整操作。