[發明專利]感光性樹脂組合物、固化浮雕圖案的制造方法、以及半導體裝置有效
| 申請號： | 201911142158.1 | 申請日： | 2015-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN110941142B | 公開（公告）日： | 2021-05-25 |
| 發明（設計）人： | 安西信裕;笹野大輔;古賀尋子;井上泰平;賴末友裕 | 申請（專利權）人： | 旭化成株式會社 |
| 主分類號： | G03F7/027 | 分類號： | G03F7/027;G03F7/004;G03F7/031;G03F7/075 |
| 代理公司： | 北京林達劉知識產權代理事務所(普通合伙) 11277 | 代理人： | 劉新宇;李茂家 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 感光性 樹脂 組合 固化 浮雕 圖案 制造 方法 以及 半導體 裝置 | ||
1.一種絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其包含以下成分：
(A)選自由作為聚酰亞胺前體的聚酰胺酸、聚酰胺酸酯、聚酰胺酸鹽和聚酰胺酸酰胺組成的組中的至少1種樹脂；
(B)感光劑；以及
(C)選自由多官能(甲基)丙烯酸酯以及分子量不足1000的低分子量酰亞胺化合物組成的組中的至少1種，
所述(A)成分為由下述通式(A2)表示的聚酰亞胺前體：
式(A2)中，X2為和/或
Y2為下述式所示的2價有機基團中的任一者，
式中，A表示甲基(-CH3)、乙基(-C2H5)、丙基(-C3H7)或者丁基(-C4H9)，
n為2～150的整數，并且R6以及R7分別獨立地為氫原子、由下述通式(A3)表示的1價的有機基團、或者碳數1～4的飽和脂肪族基團；其中，R6以及R7兩者不同時為氫原子，
式(A3)中，R8、R9以及R10分別獨立地為氫原子或者碳數1～3的烷基，并且p為2～10的整數，
并且，所述(B)成分包含下述(B1)以及(B2)成分中的至少一者：
(B1)0.001wt％溶液的i射線吸光度為0.15～0.5、并且0.001wt％溶液的g射線吸光度以及h射線吸光度為0.2以下的肟酯化合物；以及
(B2)0.001wt％溶液的i射線吸光度為0.1以下、并且0.001wt％溶液的g射線吸光度或者h射線吸光度為0.05以上的肟酯化合物。
2.根據權利要求1所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)成分為選自由三(甲基)丙烯酸異氰脲酸酯、三(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、四(甲基)丙烯酸季戊四醇酯、二或三羥甲基丙烷四(甲基)丙烯酸酯、五(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯、以及六(甲基)丙烯酸二季戊四醇酯組成的組中的至少一種。
3.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(A2)中的X2為
4.根據權利要求3所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(A2)中的Y2為
5.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(A2)中的X2為
6.根據權利要求5所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(A2)中的Y2為
7.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述通式(A2)中的Y2為
8.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述(C)成分為異氰脲酸三丙烯酸酯。
9.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述(B)成分為肟系光聚合引發劑。
10.根據權利要求1或2所述的絕緣材料用的感光性樹脂組合物，其中，所述(B1)成分的0.001wt％溶液的i射線吸光度為0.15～0.35。
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