[發明專利]一種基于液體輔助飛秒激光在線刻蝕的微通道加工系統在審
| 申請號： | 201911140271.6 | 申請日： | 2019-11-20 |
| 公開（公告）號： | CN110883433A | 公開（公告）日： | 2020-03-17 |
| 發明（設計）人： | 姜瀾;閆劍鋒;李佳群 | 申請（專利權）人： | 清華大學;北京理工大學 |
| 主分類號： | B23K26/362 | 分類號： | B23K26/362;B23K26/122;B23K26/064;B23K26/03;B23K26/70 |
| 代理公司： | 北京清亦華知識產權代理事務所(普通合伙) 11201 | 代理人： | 羅文群 |
| 地址： | 100084*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 基于 液體 輔助 激光 在線 刻蝕 通道 加工 系統 | ||
【權利要求書】：
1.一種基于液體輔助飛秒激光在線刻蝕的微通道加工系統，其特征在于，包括飛秒激光器、半波片、偏振片、光闌、機械快門、第一反射鏡、第二反射鏡、二向色鏡、加工物鏡、容器、六維平移臺、半透半反鏡、成像透鏡、工業照相機和白光光源；其中：
所述的飛秒激光器、半波片、偏振片、光闌和機械快門依次設置在第一光軸上，飛秒激光器出射的飛秒激光經過半波片、偏振片、光闌和機械快門后，再依次經過第一反射鏡、第二反射鏡與二向色鏡，入射到加工物鏡的上方，經加工物鏡聚焦后照射在位于六維平移臺上的容器中，待加工樣品置于容器中；
所述的半波片與偏振片共同構成能量調節系統，對飛秒激光器出射的飛秒激光的能量進行調節，并使出射飛秒激光的偏振方向為水平；
所述的二向色鏡，以及位于二向色鏡一側的成像透鏡、工業照相機和白光光源構成正面成像單元，通過正面成像單元，從工業照相機得到微通道加工的實時成像照片；
所述的六維平移臺用于移動待加工樣品，實現待加工樣品與飛秒激光的相互運動，使飛秒激光進行特定軌跡的掃描。
2.如權利要求1所述的微通道加工系統中，所述的飛秒激光器產生的飛秒激光的參數為：飛秒激光脈沖重復頻率為10-1000Hz，單個脈沖能量為0.05-200μJ，飛秒激光聚焦前束腰直徑為3-9mm，飛秒激光掃描速度為0.4μm/s-100μm/s。
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