[發明專利]一種MEMS電容式加速度傳感器電-機械沖擊下的試驗方法

在審

• 申請號: 201911133916.3
• 申請日: 2019-11-19
• 公開（公告）號: CN110686849A
• 公開（公告）日: 2020-01-14
• 發明（設計）人: 高成;王怡豪;黃姣英;陳炳印
• 申請（專利權）人: 北京航空航天大學
• 主分類號: G01M7/08
• 分類號: G01M7/08
• 代理公司: 暫無信息
• 代理人: 暫無信息

1.一種MEMS電容式加速度傳感器電-機械沖擊下的試驗方法，其特征在于：它包括以下步驟：

步驟一：選定MEMS電容式加速度傳感器，根據器件手冊，確定機械沖擊下電應力參數的測試條件，以及設計對應的測試電路板及夾具；

步驟二：根據MEMS電容式加速度傳感器標定的最大機械沖擊應力值，選擇最大機械沖擊應力值以及在表4中選擇僅次于最大機械沖擊應力值的兩個試驗條件，將這三組機械沖擊脈沖值作為施加的機械沖擊應力；

表4試驗條件

峰值加速度(g)	脈沖持續時間(ms)	速度變化量(m/s)
30	11	2.10
50	11	3.50
75	6	2.86
100	6	3.82
500	1	3.18
1000	0.5	3.18
1500	0.5	4.78
2000	0.5	/
3000	0.3	/
>3000	0.2	/

步驟三：對器件施加半正弦沖擊脈沖，脈沖寬度與峰值加速應在選擇的試驗條件中規定，詳見表4所示。器件應牢固的固定在供電平臺上(如焊接至PCB上)，采取預防措施防止沖擊設備“彈跳”產生重復沖擊，以及防止供電平臺對沖擊波的影響。每個應力下試驗器件為三只，每只器件X1、X2、Y1、Y2、Z1和Z2各方向承受三次電-機械沖擊應力；

步驟四：對于電-機械沖擊過程器件的輸出數據使用示波器或其他數據采集設備進行記錄，包括每次沖擊前輸出、沖擊過程輸出波形、沖擊后輸出；

步驟五：外部目檢，若發現器件產生裂紋，密封缺陷等現象，視為失效。以器件輸出標稱值4％取輸出上下界限，器件在沖擊前后輸出不在此范圍內，沖擊前后輸出誤差超過10％，同樣視為失效。