[發明專利]雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器

在審

• 申請號: 201911124274.0
• 申請日: 2019-11-18
• 公開（公告）號: CN110829181A
• 公開（公告）日: 2020-02-21
• 發明（設計）人: 曹冰;何耿;王欽華;熊先杰;袁志豪;周浩;羅安林;陳王義博;徐立躍
• 申請（專利權）人: 蘇州大學
• 主分類號: H01S5/20
• 分類號: H01S5/20;H01S5/10;H01S5/183
• 代理公司: 蘇州智品專利代理事務所(普通合伙) 32345
• 代理人: 王利斌

1.雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，包括：反射襯底，半導體六邊形微米碟，激光器；所述半導體六邊形微米碟設置在所述反射襯底上；其特征在于：激光器的出射光垂直于半導體六邊形微米碟表面，且照射在半導體六邊形微米碟的六個邊角之中任意一個邊角處；雙三角回音壁光諧振模式的激光從半導體六邊形微米碟六個側壁之中一個側壁水平出射。

2.根據權利要求1所述的雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，其特征在于：所述激光器為高功率激光器，出射激光波長小于所用半導體六邊形微米碟材料的禁帶發光波長，所述半導體六邊形微米碟為規則的正六邊形表面。

3.根據權利要求2所述的雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，其特征在于：六邊形微米碟激光器出射光的強度與線寬通過所述激光器的出射功率控制。

4.根據權利要求1所述的雙三角回音壁光諧振模式的氮化物六邊形微米碟激光器，其特征在于：激光器照射于半導體六邊形微米碟邊角處的激勵區域尺寸小于半導體六邊形微米碟表面尺寸。

5.根據權利要求1所述的雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，其特征在于：雙三角回音壁模式激光的穩定性通過所述激光器的照射光斑尺寸控制。

6.根據權利要求1所述的雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，其特征在于：所述的反射襯底、半導體六邊形微米碟、激光器依次配置為單晶硅反射襯底、氮化鎵六邊形微米碟、紫外脈沖激光器；紫外脈沖激光器波長為325nm，線寬100fs，頻率1kHz，光斑直徑為10μm；氮化鎵六邊形微米碟直徑為25μm。

7.根據權利要求1所述的雙三角回音壁光諧振模式的半導體六邊形微米碟激光器，其特征在于：所述半導體六邊形微米碟材料選用GaN、AlN、GaAs、InAs、ZnO、InP、CdS中的一種或多種組合。