[發(fā)明專利]一種真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)及測試方法

在審

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• 申請日: 2019-11-15
• 公開（公告）號: CN110967111A
• 公開（公告）日: 2020-04-07
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄭偉;林日成;賈樂敏;黃豐
• 申請（專利權(quán)）人: 中山大學(xué)
• 主分類號: G01J3/02
• 分類號: G01J3/02
• 代理公司: 廣州粵高專利商標代理有限公司 44102
• 代理人: 趙崇楊

1.一種真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，包含紫外光源、深紫外單色儀、探針臺和靜電計；所述紫外光源、單色儀和探針臺置于真空或氮氣環(huán)境中，紫外光源通過單色儀向探針臺上的待測樣品器件提供紫外光源輻射；探針臺的兩側(cè)設(shè)有探針組件，所述探針組件包括探針固定座和設(shè)置在固定座上的探針，探針能夠與探針臺上的待測樣品器件相連接，同時探針的正負極分別與靜電計的相連；所述探針臺為微區(qū)探針臺，包括探針臺底座、設(shè)置在探針臺底座上方的載樣臺以及設(shè)置在探針臺底座上的位移調(diào)節(jié)機構(gòu)；所述載樣臺與位移調(diào)節(jié)機構(gòu)連接，使載樣臺可以沿X、Y、Z軸方向做微位移運動。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，還包含測試系統(tǒng)，靜電計與單色儀的輸出端分別與測試系統(tǒng)的輸入端相連。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，所述紫外光源為氘燈光源。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，所述深紫外單色儀配有1200g·mm^-1光柵，閃耀波長在250nm處。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的所述的真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，所述氘燈光源功率為200W。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，所述真空環(huán)境的真空度為0.00000001～0.1帕。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)，其特征在于，還包括測試系統(tǒng)，分別連接深紫外單色儀和靜電計。

8.一種利用權(quán)利要求1～7任一所述光譜響應(yīng)標定系統(tǒng)進行真空紫外光探測器的光譜響應(yīng)標定的方法，其特征在于，包括如下步驟：

S1.待測樣品器件測試：將待測樣品器件置于探針臺上并將探針分別接觸于樣品器件的正負極，紫外光源通過單色儀向探針臺上的待測樣品器件提供紫外光源輻射，靜電計用于對器件施加偏壓并測量響應(yīng)電流，在測試系統(tǒng)上設(shè)置測試參數(shù)，包括光進出口狹縫寬度、起始波長與終止波長、波長步進、采樣周期和平均采樣次數(shù)以及輸入電壓，開始測試并保存數(shù)據(jù)；

S2.單色光功率校準：將樣品器件更換為標準紫外探測器并連接靜電計，紫外光源通過單色儀向探針臺上的標準紫外探測器提供紫外光源輻射，在測試系統(tǒng)上設(shè)置測試參數(shù)，輸入電壓設(shè)為0V，其余參數(shù)與測試樣品器件時相同，開始測試并保存數(shù)據(jù)；將標準探測器的光譜響應(yīng)電流除以標準光譜響應(yīng)度即得到不同波長下的光功率，用光功率除以標準探測器的光照面積得到輻射光的功率強度P；

S3.計算器件樣品的光譜響應(yīng)度：利用以下公式計算光譜響應(yīng)度：R_λ＝ΔI/PS，其中ΔI是光電流，P是輻射光的功率強度，S是光照面積，λ是輻射光的波長。