[發明專利]一種諧振式MEMS壓力傳感器

在審

• 申請號: 201911112792.0
• 申請日: 2019-11-14
• 公開（公告）號: CN110803675A
• 公開（公告）日: 2020-02-18
• 發明（設計）人: 王輝
• 申請（專利權）人: 無錫萊斯能特科技有限公司
• 主分類號: B81B3/00
• 分類號: B81B3/00;B81B7/00;B81B7/02;G01L1/10;G01L9/00
• 代理公司: 上海智威知識產權代理有限公司 31356
• 代理人: 范潔瓊

1.一種諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，包括：

敏感膜；

至少一根諧振梁，所述諧振梁的兩端分別通過第一錨點和第二錨點固定在所述敏感膜上；

至少一個驅動器，用于驅動所述諧振梁；

至少一個檢測器，用于檢測諧振梁位移幅度，和驅動器一起構成閉環系統，使系統振動在諧振點；

轉向機構，與所述諧振梁連接，還與所述驅動器和所述檢測器中的一個或兩個連接，使得所述驅動器和所述檢測器中的一個或兩個的運動方向正交于所述諧振梁的運動方向；所述轉向機構為L型，包括：第一臂，通過第一傳遞梁與所述諧振梁連接；和第二臂，和所述第一臂相連，通過第二傳遞梁與所述驅動器或所述檢測器中的一個或兩個連接；所述轉向機構的第一臂和第二臂的連接處為轉點；所述轉向機構的轉點通過連接部與第三錨點相連，使得轉向機構能繞所述轉點轉動；所述第二臂的長度大于所述第一臂的長度，使得所述檢測器的運動幅度大于所述諧振梁的運動幅度，從而增強檢測信號。

2.如權利要求1所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述第一傳遞梁通過第一折疊梁與所述諧振梁相連；和/或

所述第二傳遞梁通過第二折疊梁與所述驅動器或所述檢測器中的一個或兩個相連。

3.如權利要求2所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述第一折疊梁與所述第二折疊梁分別為位于第一傳遞梁與第二傳遞梁一側的U型柔性結構；或者分別為位于第一傳遞梁與第二傳遞梁兩側對稱分布的兩個U型柔性結構。

4.如權利要求1所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述驅動器和所述檢測器的運動方向均正交于所述諧振梁的運動方向；或者，所述驅動器的運動方向平行于所述諧振梁的運動方向，所述檢測器的運動方向正交于所述諧振梁的運動方向；或者，所述驅動器的運動方向正交于所述諧振梁的運動方向，所述檢測器的運動方向平行于所述諧振梁的運動方向。

5.如權利要求1所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述驅動器包括互相配合的驅動器固定梳齒組和驅動器可動梳齒組，所述驅動器的運動方向為所述驅動器可動梳齒組的運動方向；所述檢測器包括互相配合的檢測器固定梳齒組和檢測器可動梳齒組，所述檢測器的運動方向為所述檢測器可動梳齒組的運動方向。

6.如權利要求1所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，所述至少一根諧振梁為兩根及兩根以上，兩根及兩根以上諧振梁之間采用耦合或非耦合的方式連接。

7.如權利要求1所述的諧振式MEMS壓力傳感器，其特征在于，驅動及檢測方式為靜電、壓電、壓阻、電磁、電熱中的一種或多種。