[發(fā)明專利]焊接頭組件、熱壓焊接系統(tǒng)及其組裝和操作方法有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 201911106510.6 | 申請日： | 2016-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN110834141B | 公開（公告）日： | 2022-04-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | M·B·瓦塞爾曼 | 申請（專利權(quán)）人： | 庫利克和索夫工業(yè)公司 |
| 主分類號： | B23K20/02 | 分類號： | B23K20/02;B23K20/26;H01L23/52 |
| 代理公司： | 永新專利商標(biāo)代理有限公司 72002 | 代理人： | 李隆濤 |
| 地址： | 美國賓*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 焊接 組件 熱壓 系統(tǒng) 及其 組裝 操作方法 | ||
1.一種用于將半導(dǎo)體元件焊接至基板的焊接頭組件，所述焊接頭組件包括：
基座結(jié)構(gòu)；
加熱器；以及
將所述加熱器固定至所述基座結(jié)構(gòu)的夾持系統(tǒng)，所述夾持系統(tǒng)沿著加熱器和/或基座結(jié)構(gòu)的相反兩側(cè)延伸并包含多個彈性元件，所述多個彈性元件沿著多個軸線約束所述加熱器，
其特征在于，所述多個彈性元件被構(gòu)造成沿著所述焊接頭組件的多個軸線中的至少一個軸線將所述加熱器維持在大致平衡的狀態(tài)中，以使得在所述加熱器上作用的彈性力沿著所述焊接頭組件的所述至少一個軸線大致相同。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述加熱器包括在焊接處理的過程中接觸所述半導(dǎo)體元件的接觸部。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述焊接頭組件包括固定至所述加熱器的工具，所述工具在焊接處理的過程中接觸所述半導(dǎo)體元件。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述加熱器由陶瓷材料形成。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述夾持系統(tǒng)的彈性元件包含鈦。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述夾持系統(tǒng)的彈性元件包含這樣的材料，該材料具有范圍為8至10×10-6每攝氏度的熱膨脹系數(shù)以及范圍為5至10瓦/(米×攝氏度)的導(dǎo)熱率。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述基座結(jié)構(gòu)包括絕緣結(jié)構(gòu)，所述絕緣結(jié)構(gòu)具有范圍為6至12×10-6每攝氏度的熱膨脹系數(shù)以及范圍為1至3瓦/(米×攝氏度)的導(dǎo)熱率。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述基座結(jié)構(gòu)限定至少一個真空通道，真空通過所述至少一個真空通道被抽取，以便在焊接處理的過程中將所述半導(dǎo)體元件臨時地固定至所述加熱器。
9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述基座結(jié)構(gòu)限定至少一個冷卻通道，所述至少一個冷卻通道被構(gòu)造成將冷卻流體傳輸至所述加熱器。
10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述基座結(jié)構(gòu)接收電接觸部，所述電接觸部為所述加熱器供電。
11.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述多個彈性元件包括沿著所述焊接頭組件的至少一個大致水平的軸線約束所述加熱器的多個元件。
12.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述多個彈性元件包括沿著所述焊接頭組件的x軸線以及所述焊接頭組件的y軸線約束所述加熱器的多個元件。
13.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述多個彈性元件包括沿著所述焊接頭組件的z軸線約束所述加熱器的多個元件。
14.根據(jù)權(quán)利要求1所述的焊接頭組件，其特征在于，所述夾持系統(tǒng)包括在所述加熱器的相反兩側(cè)上布置的兩個夾持結(jié)構(gòu)。
15.根據(jù)權(quán)利要求14所述的焊接頭組件，其特征在于，所述兩個夾持結(jié)構(gòu)中的每個夾持結(jié)構(gòu)包括所述多個彈性元件中的沿著所述焊接頭組件的多個軸線約束所述加熱器的彈性元件。
16.根據(jù)權(quán)利要求14所述的焊接頭組件，其特征在于，所述兩個夾持結(jié)構(gòu)中的每個夾持結(jié)構(gòu)包括所述多個彈性元件中的沿著所述焊接頭組件的大致水平的軸線以及所述焊接頭組件的大致垂直的軸線約束所述加熱器的彈性元件。
17.根據(jù)權(quán)利要求16所述的焊接頭組件，其特征在于，所述兩個夾持結(jié)構(gòu)中的每個夾持結(jié)構(gòu)由單件材料形成。
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